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福州大学高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购

福建 -福州

发布时间： 2025年06月12日

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大学电感耦合等离子设备采购

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***********公司企业信息

****2025年06月至2025年07月政府采购意向-******度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购详细情况

******度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
项目所在采购意向：	****2025年06月至2025年07月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	******度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
预算金额：	360.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：	采购内容:其他仪器仪表采购数量:1.0000台主要功能或目标:该设备利用电感耦合等离子体产生高能量的离子和自由基，可实现对多种超宽禁带材料的精确刻蚀，具备高刻蚀速率、高选择性、良好的均匀性和垂直度等优点。采购此设备旨在不同研究方向上对微纳结构加工的严格要求，实现高深宽比的微结构加工，提高探测器性能，同时提升研究效率，降低研究成本，保障技术保密性，推动高性能超宽禁带探测器研究的深入开展。需满足的要求:质量保证期:验收合格之日起算一年;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;
预计采购时间：	2025-07
备注：	无