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| 1 | 大功率桌面级EUV光源 | 极紫外光功率:>10W/2pi sr (B.W.±1%)腔体压力:1-100Pa可调 放电电流:>10kA, 放电电流脉宽:<200ns; 放电频率:0-2kHz可调 放电腔体等效电感:<20nH, 电极寿命:>100万次(可更换)。 | ****000.00 | 2025-08 |