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上海大学2025年07月政府采购意向
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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2025年07月政府采购意向 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 标书代写
| 1 | 光刻机关键零部件磁流变抛光控制系统和工艺软件 | 1、可控轴数：不少于6个轴，支持不少于5轴联动； 2、重复定位精度：≤1μm； 3、运动直线度：≤5μm/400 mm； 4、摆轴A，工件旋转轴C重复定位精度：≤10”； 5、路径规划：支持样条拟合，路径平滑度控制在0.1mm以内； 6、高精度插补：支持高精度插补算法，插补精度控制在1μm以内； 7、动态性能：支持动态启停，振动幅值控制在1μm以内； 8、加工曲面：支持多种不同曲面加工，路径规划平滑度控制在0.1mm以内。 |
****000.00 | 2025-07 |
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