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| 1 | 光阻膜层检测设备 | 需要采购一套光阻膜层检测设备,主要技术参数包括:1)标准工作模式:至少9种操作模式;2)扫描器:X,Y,Z三轴分离式闭环扫描器,扫描范围 :50×50×17μm,XY横向分辨率≤0.2nm,Z纵向分辨率≤0.035nm;3)光谱范围;≥190-900nm;4)单点测量时间:<15秒。 | ****000.00 | 2025-08 |