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| 光阻膜层检测设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年08月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 光阻膜层检测设备 |
| 预算金额: | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
需要采购一套光阻膜层检测设备,主要技术参数包括:1)标准工作模式:至少9种操作模式;2)扫描器:X,Y,Z三轴分离式闭环扫描器,扫描范围 :50×50×17μm,XY横向分辨率≤0.2nm,Z纵向分辨率≤0.035nm;3)光谱范围;≥190-900nm;4)单点测量时间:<15秒。
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| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写