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大功率桌面级EUV光源
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1530000.00
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***********公司企业信息
****2025年08月政府采购意向-大功率桌面级EUV光源 详细情况
| 大功率桌面级EUV光源 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年08月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 大功率桌面级EUV光源 |
| 预算金额： | 153.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
极紫外光功率：＞10W/2pi sr （B.W.±1%）腔体压力：1-100Pa可调 放电电流：＞10kA， 放电电流脉宽：＜200ns； 放电频率：0-2kHz可调 放电腔体等效电感：＜20nH， 电极寿命：＞100万次(可更换)。
|
| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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