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| 尾气处理等设备工艺配套系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年6至7月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 尾气处理等设备工艺配套系统 |
| 预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A020699其他电气设备
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| 采购需求概况 : |
尾气处理等设备工艺配套系统,1套 主要技术要求如下:需完成尾气处理旁通增加、尾气处理设备气体增加、光刻机新增需求、清洗区废液提升管路、TSV刻蚀机、DRIE深硅刻蚀系统、匀胶显影机、等离子体增强化学气相沉积系统(8寸)的动力配电工程、工艺配电采购及安装、工艺排气采购及安装、工艺管道采购及安装、工艺气体及特气采购及安装等相关工艺设备配套工程采购;PCW主管路改造等所有技术要求内包含内容。
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| 预计采购时间: | 2025-07 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写