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关于内蒙古大学磁控溅射镀膜机网上竞价公告

公告-招标公告

内蒙古 -呼和浩特

发布时间： 2025年06月16日

摘要信息

招标单位

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代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

大学磁控溅射镀膜机公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射镀膜机	****
2025-06-16 15:49:48	2025-06-19 16:00:00
****	货到验收合格后付款

	签订合同后90个工作日内
￥450000.00




市区锡林郭勒南路 ****南校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射镀膜机

台

真空应用设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

乐贝

PVD500

￥ 450000.00

一、主要技术指标及配置: 1 极限真空度：1×10-4Pa. 2 抽速：从大气抽至 8.0×10-3Pa，≤15 分钟(空炉、冷态) 从大气抽至 3.0×10-3 Pa，≤30 分钟(空炉、150℃) . 3.炉体结构：框架式炉体结构，炉体侧面及上面均可根据不同使用需求安装不同的功能单元，方便设备后期扩展。 4.多种样品台模式：一维旋转；二维旋转；固定位置自转；还可支持安装粉料类包覆镀膜治具。 5 压升率：≤0.5Pa/小时； 6 样品台：直径 200mm 公转样品台，样品台最高加热温度：300℃ 7电气控制系统：PLC 全自动控制，可运行多种工艺设置。二、PVD500 型真空镀膜机主要配置： 1.真空机组：TRP90 直联旋片泵（1台），DN200 脂润滑分子泵（1台），ISO200 插板阀（1台），GDQ65 型不锈钢结构前级阀、预抽阀、放气阀（3只），SUS304 不锈钢管道，波纹管（1套），光栅阀角度控制器安装在炉体抽气口处，伺服电机驱动 0-90°旋转式翻板结构控制精度 0.5 度（1套）。 2. 真空室（炉体总承)：1)炉体结构为立式矩形结构。2)SUS304 不锈钢焊接组成。 3)厚板拼接结构，带冷却道。4)真空室壁厚 25mm，外壁厚 6mm，上法兰 25mm 下盖板厚 25 毫米，体框厚 32 毫米（加工后），炉体后侧为抽气口。5)炉体上盖法兰为三靶位。6****中心为工件转盘接口及反应气体等接口（1套）。7)炉门中部为视窗，视窗带防污玻璃。 8)真空室内、外表面采用电解抛光技术，可长久保持外观效果，易于清洁。 9)挂装式衬板，拆卸方便，可保证长时间高温下工作不变形，SUS304 不锈钢，表面喷沙，防止脱膜内衬板厚度为 2mm 2 套。 10)反应气体接入系统：6mm 不锈钢管路，外卡套安装，方便调整及拆装。 11)炉体支架：60*60*5 方钢+100 槽钢+冷轧碳钢板焊接组成，炉体支架、气管、水管、电线、电缆桥架一体完成，表面喷塑防腐。 3. 加热及温度测量：1 样品台加热：炉体底板引入，安装在样品台下方不锈钢铠装加热器，总功率约 4KW；温度控制范围：100-300℃。2 炉体加热：安装在炉门及炉体抽气口侧壁，总功率约 4KW温度控制范围：100-200℃ 密封法兰带水冷结构，防止胶圈过温老化、损坏接线端子带绝缘保护罩温度测控采用温控表，可单独、阶段性控温，PID控制。 4.样品台：直径 200mm 公转样品台 1 套磁流体密封主轴带偏压引入接口公转转速：0-10rpm。 5.电气控制柜主要器件：接触器、空开、断路器（施奈德）继电器（魏德米勒）温控表（泰矽）变频器（三菱）机柜、面板布线等（1套）。 6.全自动电气控制系统：三菱 FX 系列 PLC 逻辑控制器及功能模块，15 寸触摸屏 1 套主控单元可设置参数及工作点，并根据预设置工艺流程，实现对整机全自动、半自动、及手动控制；可设置并存储多种工艺，用户可根据不同产品需求选择调用；程序带密码功能，可设置多级使用权限监控各泵、阀门工作状态，故障发生时报警并作出相应处理；监控进水管路及各靶(弧)回水管路水流，及时处理并发出警示；监控冷却水压力变化，在压力不足或过压情况下报警，以便系统故障处理监控偏压电源、溅射电源等的电压、电流采集真空室内真空度监控气体流量专业电磁兼容性设计，抗干扰能力强，无死机现象可与导电(泰矽)温控表通讯，实现分段控温带实时曲线、历史曲线查询功能（1套）。 7.溅射靶：直径 75mm 圆盘状磁控靶集成挡板，磁靶溅射角度手动可调支持 RF 射频溅射，强磁场设计,高度方向靶基距： 40-100mm 手动可调（3套） 8.溅射电源 DC-1000 直流电源 1 台吉兆源 9.偏压电源 DiBIAS3K 脉冲偏压电源 1 台派立特 10.RF 电源 PG-500 射频电源 2 套吉兆源。

技术支持:7x24小时;保修期:一年;服务响应时限:报修后2小时;质保期:一年;培训要求:培训两次;是否含税:国产含税;