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| 申购单主题: | 真空等离子清洗机 | 申购单位: | **** | 报价类型: | 国内含税价 |
| 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2025-06-14 12:06:32 | ||
| 申购备注: |
| 真空等离子清洗机 | SUPPLIER**市震华****公司 | ZH-ZQ-5L | 1 | ****实验室,技术人员上门安装调试,产品售后需在1~3个工作日内上门处理。 |
| 规格:配置:设备主机、铝合金真空腔体、13.56MHZ射频电源、信捷触摸屏、油泵、说明书 1.设备规格 外形参数:长 420mmX 宽 450mmX 高 500mm、重量 50KG、外观颜色 白红色 总电源:200V/AC、50/60Hz、2KW 激励电源:射频电源、功率 0-300W 可调、频率 13.56MHZ 真空系统: 油泵真空泵、全不锈钢真空管路以及高强度真空波纹管、美式航空铝合金、厚度 20mm、军工级焊接密封 腔体结构:圆腔体尺寸 直径 150mm X 深 266mm、1 层层板排布、水平抽屉式抽取电极板排布方式、标配一套1层工作托盘220*100(mm) 气体系统:气压量程 0-300 SCCM、标配两路气体(Ar、 N2、 O2、 H2、 CF4) 2.安装规格 交流电源: AC220V, 50/60Hz,3 线, 50A 排气 流量: 2.0m3/ 工作气体:流量: 1~10L/min,压力: 3~7kg/cm2,管径: 6× 4mm 连接件 材质: PU 管纯度: 99.99%以上 压缩空气:流量: 1~10L/min,压力: 3~7kg/cm2,管径: 8× 5mm,材质: PU 管,露点: -40℃以下,Particle>0.3μ m: 10Pcs/ft3 3.上门安装调试等,售后在1~3个工作日内上门处理 |
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