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| 85D集成式分子泵泵组 | EDWARDS | 77600.00 | 按行业标准提供服务 | 1:分子泵对氮气抽速不小于 84 L/ S 。 2:分子泵对氢气压缩比不小于5*105 3:对氢气抽速不小于54 L/S。 4:抽气口为DN63 ISO-K接口。 5:分子泵转速不小于90000rpm。 6:前级泵须双极油封旋片泵结构。 7:前级泵泵抽速不小于1.2m3/h。 8:噪音(在极限真空状态下运行时) 不大于56dB。 9:密封性(静态) 不大于1*10-6 mbar*l/s。 10:控制器能显示真空度并控制分子泵启停。 11:配备宽量程真空计: 11-1: 压力测量范围 103-10-9 mbar。 11-2:准确度:小于100 mbar时通常为 15%,小于10-3mbar时为30%。 11-3 :最高烘烤温度(不带电子器件) 70摄氏度。 12:配KF障板。 13:定制泵组和传感器集成式控制,需要实现单按钮启动/停止系统。 14:报价需要提供的埃地沃兹(Edwards)公司证明。 15:交货周期:6周。 16:质保周期:2年。 | 1.0台 | TPA(85D ISO63) +WRG | 77600.00 | **** |