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紫金山实验室 - 竞价公告（NCBPMLABS2025000129）
招标详情
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2025-06-18 09:52:16 截止时间：2025-06-21 10:02:09标书代写
申购主题： SGKY202****0023-台阶仪
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明： 1 、乙方为甲方提供培训，培训包括正常操作、保养维护、校准和异常处理等，并提供设备的培训教程。 2、提供不少于1个月的驻厂技术支持服务。接到报障信息后，2小时内回应，通过远程控制、电话、传真及邮件的方式指导买方排除故障；若故障仍不能排除，24小时内上门调试维修排故或用户将仪器发回维修。 3、乙方负责为用户提供计量测试技术咨询服务。每年度为仪器进行系统检查、校正。确保仪器运行的稳定性，定期综合****公司内部升级需要，不定期终身免费对软件进行升级。 4、在买方按卖方提供的说明书正常使用情况下，自货物签收玖拾日内产品有质量问题（不包括甲方自行拆卸和损坏），乙方免费退换。从甲方验收合格之日起，乙方负责免费保修 12个月，终身维护。
送货时间： 合同签订后30天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 人民币
| 台阶仪 | 1.0/台 | / | / | 1. 样品观测：光学导航摄像头，500万像素高分辨率，彩色摄像机。正视视野2.2×1.7mm 2. 探针传感器：超低惯量，LVDC传感器 3. 测量力：1-50mg可调 4. 探针选型：探针曲率半径2 μm，夹角60 ° 5. 平台移动范围X/Y：电动X/Y（100mm*100mm）（可手动校平） 6. 样品R- θ载物台：电动，360 °连续旋转 7. 单次扫描长度：55mm 8. 最大样品厚度：50mm 9. 载物台最大晶圆尺寸：150mm（6吋），200mm（8吋） 10.台阶高度重复性：1 （测量1μm台阶高度，1δ） 11.传感器量程：1050 μm 12.垂直分辨力：0.5 13.扫描速度：2 μm/s-10mm/s 14.仪器电源：100-240 VAC，50/60 Hz 15.使用环境：相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH；温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)；地面振动：6.35 μm/s（1-100Hz）；音频噪音：≤80dB；空气层流： ≤0.508 m/s（向下流动） 16.尺寸和重量：长×宽×高: 630*610*500(mm) 仪器总重量：40kg 16.用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，可以进行台阶高度、膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。 17.全自动XY载物台， Z轴自动升降、360°全自动转台 18.采用高精度光学平台,主动隔振隔音的集成设计 19.可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量。 集成了单区域，多区域测量模式 20.可快速换针 21.配备8nm台阶块 22.配备两个探针 | 1 、乙方为甲方提供培训，培训包括正常操作、保养维护、校准和异常处理等，并提供设备的培训教程。 2、提供不少于1个月的驻厂技术支持服务。接到报障信息后，2小时内回应，通过远程控制、电话、传真及邮件的方式指导买方排除故障；若故障仍不能排除，24小时内上门调试维修排故或用户将仪器发回维修。 3、乙方负责为用户提供计量测试技术咨询服务。每年度为仪器进行系统检查、校正。确保仪器运行的稳定性，定期综合****公司内部升级需要，不定期终身免费对软件进行升级。 4、在买方按卖方提供的说明书正常使用情况下，自货物签收玖拾日内产品有质量问题（不包括甲方自行拆卸和损坏），乙方免费退换。从甲方验收合格之日起，乙方负责免费保修 12个月，终身维护。 |
招标进度跟踪
2025-06-26
2025-06-18
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