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| 三维纳米定位系统 | 三英精控 | 123000.00 | 按行业标准提供服务 | 闭环行程 X/Y/Z 100/100/20 um 闭环分辨率 X/Y/Z 0.5/0.5/0.1nm 线性度 X/Y/Z 0.02/0.02/0.08% 无负载谐振频率 X/Y/Z 500/500/1400Hz SC-200控制器 分辨率24位ADC/DAC 处理器 32位浮点DSP,主频 200MHz 采样间隔 20.48微秒 接口 USB ,模拟输入(-10~10V可定制),模拟输出(-10~10V可定位),数字I/O(可选) | 1.0 | 闭环行程 X/Y/Z 100/100/20 um 闭环分辨率 X/Y/Z 0.5/0.5/0.1nm 线性度 X/Y/Z 0.02/0.02/0.08% 无负载谐振频率 X/Y/Z 500/500/1400Hz SC-200控制器 分辨率24位ADC/DAC 处理器 32位浮点DSP,主频 200MHz 采样间隔 20.48微秒 接口 USB ,模拟输入(-10~10V可定制),模拟输出(-10~10V可定位),数字I/O(可选) | 123000.00 | **** |