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中山大学先进能源学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目
招标详情
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***********公司企业信息
********学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目
发布时间： 2025-06-18 16:50
| 项目概况
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | **** | ||
| 项目名称 | ********学院无掩膜紫外光刻机设备采购项目 | ||
| 申购主题 | 无掩膜紫外光刻机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价 | 800,000.00(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2025-06-18 16:50 | 报名及响应结束时间 | 2025-06-24 09:00 |
| 采购单位 | **** | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ****5092 |
| 期望收货时间 | 合同签订后30天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | **省**市**区公常路66号********学园1-513 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、本项目不允许产自中华人民**国关境外的进口货物报价，否则报价无效；2、国内供货请报含税人民币价；3、****学校不收 取任何费用。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.****.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。电子标服务 | ||
| 采购明细
| 1 采购设备 | 无掩膜紫外光刻机 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
“无掩膜紫外光刻机”技术要求
| 1 | ★1、光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽不大于1.2 μm，工作距离≥19 mm；光刻镜头2：最小线宽不大于0.8 μm，工作距离≥12 mm | 重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2、具备交互式套刻指引功能：支持实时光刻图形的预览 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | ▲3、具备图像识别对焦功能 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4、支持光刻镜头电动切换 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 5、曝光波长：380 nm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6、数字掩模板分辨率：≥1920 1080，微镜尺寸≤7.6 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 7、显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 8、可支持的最大样品厚度：≥10 mm | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | ▲9、最大曝光面积：≥150 mm 150 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | ▲10、支持样品电动旋转 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11、样品台精度：绝对定位精度±0.5 μm，双向重复定位精度±0.25 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 12、样品吸附：支持样品吸附 | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | ▲13、辅助功能： 原位光绘功能：支持原位绘制光刻图形； 物像绑定功能：支持样品图形和光刻图形绑定，实时对应； 成像拼接功能：支持样品图形的大范围拼接，实现大范围样品查找； 畸变矫正功能：支持光刻图形算法畸变矫正，实现精准套刻 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 14 | 14、画图功能：支持阵列画图、套刻画图 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | ▲15、软件及其功能：配套中文版操作软件 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 16 | ▲16、配置清单：(1)无掩膜紫外光刻机主机（380 nm光源）1套、光刻机配套中文版操作软件1套；(2)工作站1套（配置不低于i5-14500 14核/16G DDR5/512G SSD/27寸显示器）、有线键鼠一套；(3)物镜3颗（1颗观测镜头、2颗光刻镜头）；(4)光电分离机箱2个；(5)气泵1个；(6)工具及附件1套（公制内六角扳手、英制内六角扳手、磁吸小灯带背胶、理线管5米：1根、螺丝刀套装、U盘）；(7)光学平台1个：尺寸不低于68cm（长）x68cm（宽）x78cm（高）；(8)机柜1个：尺寸不低于75cm（长）x60cm（宽）x95cm（高） | 非常重要 | 否 | 是 |
| 资质要求
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
| 商务要求
| 1 | 免费保修年限 | 2年 3年 4年 5年及以上 |
是 |
| 2 | 合同履约 | ****学校合同范本执行 下载地址：http://www.****.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《****国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| 4 | 售后服务要求 | 1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障7天内解决（重大故障除外）。 2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在24小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决； |
是 |
| 5 | 培训要求 | 1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。 2、培训人员：不少于2人； 3、培训时间：2天； 4、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。 |
是 |
| 6 | 保修范围 | 1、保修期内的保修内容与范围：（1）整机保修，在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。 2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外的涉及到零部件出现故障，卖方需按成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。 |
是 |
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