表面低频面形误差检测修正系统和表面高频粗糙度误差检测修正系统（HITDY-2025000025）单一来源采购征求意见公示

根据《****大学采购管理办法》、《****大学****中心采购工作实施细则》等有关规定，****大学表面低频面形误差检测修正系统和表面高频粗糙度误差检测修正系统拟采取单一来源采购方式进行采购，现对潜在供应商征求意见。

1.项目概况

1.1采购单位：****

1.2项目名称：****大学表面低频面形误差检测修正系统和表面高频粗糙度误差检测修正系统

1.3项目编号：****

1.4采购数量：1套

1.5采购预算：1040万元（人民币）

1.6拟定的制造商及地址：Opto Tech Optikmaschinen GmbH（奥普****公司），Sandusweg 2-4, 35435 Wettenberg, Germany（德国韦滕贝格市桑杜斯路2-4号）

1.7拟定的供应商及地址：Opto Tech Asia Limited（****公司），****湾临兴街21****中心Ⅱ期2322室

1.8采购需求：详见附件

2.实施单一来源采购的理由

（1）制造商单一来源：****学院基于科研项目的研发需要，需采购一套表面低频面形误差检测修正系统和表面高频粗糙度误差检测修正系统，对半导体及光学元件的加工表面的低频面形误差和高频粗糙度误差进行检测修正。主要涉及的元件类型包括：平面、球面、非球面、柱面及自由曲面等多种表面，表面低频面形误差检测修正系统最大检测修正口径不小于600mm，表面高频粗糙度误差检测修正系统需具备六轴自由度。专家对项目研发所需的产品性能进行了专业论证，产品性能需求如下：

表面低频面形误差检测修正系统

①X轴运动行程不小于500mm，修正工具都有+/-250mm的运动行程，且只有X/Z移动方向，确保检测运动精度和刚性；

②待检测工件平台集成前后运动的Y轴与A轴，且A轴具有+/-90°的行程，进而可实现高陡度工件低频面形误差的检测修正；

③具备粗修和精修两套修整工具，粗修是能快速稳定的对低频面形误差进行检测修正，用“范成法”检测修正的最大镜片口径不小于600mm；精修工具可水平放置，进而保证修正过程中接触点位于受力最稳定的工具轴轴心区域，保证精修的质量，且对镜片的形状几乎没有限制。

④具有修正工具进给速度和超负载保护等先进的刀具控制技术。修正工具和镜片刚接触时的进给速度可先设定在一定的比例，然后再逐渐加速到正常的进给速率，可避免意外发生。同时，修正工具负载超过设定值时，可自动退刀到设定值，并自动降低进给速度。

表面高频粗糙度误差检测修正系统

①为了实现复杂表面的法向检测修正，需具备六轴数控运动系统，且X轴行程不小于600mm，A轴具有+/-90° 的检测行程，B轴具有+/-90°的检测行程，检测修正系统集成在数控摆动轴A轴和B轴上，可实现全方位运动，使检测修整系统能对准镜片上任何一点的法线方向，且具备不小于四种高频粗糙度误差修正技术；

②高频粗糙度误差检测修正软件适用于球面、非球面及各种非旋转对称表面如离轴面、复曲面等曲面的检测修正，具备弹性小工具误差修正、先进轮式误差修正、主动射流误差修正、子孔径沥青小工具误差修正以及柱面误差检测修正等多种高频粗糙度误差检测修正技术；

③六轴数控系统可实现对离轴面、复曲面等非旋转对称工件的精确检测修正。对于高精度镜片，可采用具备高去除率的先进轮式误差修正技术进行误差预修正，然后采用弹性小工具误差检测修正技术进行再次修正，使工件PV值收敛至0.5~1um。在此基础上，采用子孔径沥青小工具误差修正进行光滑处理，提高工件表面的粗糙度，最后采用主动射流误差修正技术做极精细的3D误差修正，最终可实现 RMS 值优于λ /50、表面粗糙度 Ra 值优于 1nm 的误差修正精度。

④误差检测修正软件包含具备2D和3D模式，2D模式下具备误差修正进给速度微调功能。3D模式下可实现球面、非球面以及自由曲面的螺旋模式、离轴旋转模式以及光栅模式的误差检测修正。误差检测修正系统可直接输入非球面方程参数、离轴面的各方向离轴量和方程参数，以及自由面的面形点云图数据等，系统会自动生成误差检测修正路径文件或用户自定义误差检测修正路径文件启动检测修正过程。

以上产品性能参数只有OptoTech Optikmaschinen GmbH（奥普****公司）生产的表面低频面形误差检测修正系统和表面高频粗糙度误差检测修正系统能够满足要求。

（2）供应商单一来源：OptoTech Asia Limited（****公司）为OptoTech Optikmaschinen GmbH（奥普****公司****公司，该设备由OptoTech Asia Limited（****公司）销售。

基于上述原因，本项目须以单一来源的方式进行釆购。

3.发布公示媒介

本次征求意见公示在以下媒介上发布：

中国政府采购网（http://www.****.cn/）

****大学****中心(http://cgzx.****.cn)

4.公示期及联系方式

本项目公示期为2025年6月20日至2025年6月26日（法定公休日、法定节假日除外）。有关单位和个人如对公示内容有异议，请在2025年6月26日16:30（**时间）****管理中心提交实名（包括联系人、地址、联系电话）反馈材料。

提交方式：请将带签章的PDF扫描件发到指定电子邮箱，截止时间以收到电子邮件时间为准。标书代写

项目联系人：武老师

电 话：0451-****7953

邮 箱：****@163.com

技术负责人：王老师

电 话：188****0986

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