季华实验室2025年06月至2025年07月政府采购意向

发布时间: 2025年06月19日
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为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位2025年06月至2025年07月采购意向公开如下:

序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注
1 ****采购离子刻蚀机等设备项目
标的名称:半自动显影机
标的数量:1
主要功能或目标:用于显影CGH
需满足的要求:1.可容纳并实现直径300mm圆,厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度:0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度:±1rpm
/ 1,350,000.00 2025年07月 科研仪器设备
2 ****采购离子刻蚀机等设备项目
标的名称:半自动刻蚀机
标的数量:1
主要功能或目标:用于刻蚀CGH金属层
需满足的要求:1.可容纳并实现直径300mm圆,厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度:0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度:±1rpm
/ 1,500,000.00 2025年07月 科研仪器设备
3 ****采购离子刻蚀机等设备项目
标的名称:RIE离子刻蚀机
标的数量:1
主要功能或目标:用于刻蚀CGH石英
需满足的要求:1.反应室容量:可容方形φ400mm,厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min; 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置
/ 4,150,000.00 2025年07月 科研仪器设备

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

****

2025年06月19日

招标进度跟踪
2025-06-19
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季华实验室2025年06月至2025年07月政府采购意向
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