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季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目
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****2025年06月至2025年07月政府采购意向-****采购离子刻蚀机等设备项目 详细情况
| ****采购离子刻蚀机等设备项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年06月至2025年07月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ****采购离子刻蚀机等设备项目 |
| 预算金额： | 415.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
标的名称:RIE离子刻蚀机 标的数量:1 主要功能或目标:用于刻蚀CGH石英 需满足的要求:1.反应室容量：可容方形φ400mm，厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min； 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置
|
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： |
科研仪器设备
|
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025-06-19
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