硅烷合成装置、气体纯化系统及高纯硅烷制备相关试验外协服务采购公告

中****公司-硅烷合成装置、气体纯化系统及高纯硅烷制备相关试验外协服务-谈判采购采购公告

1、采购项目简介

本采购项目 硅烷合成装置、气体纯化系统及高纯硅烷制备相关试验外协服务

已批准实施，采购项目资金已落实，采购人为 中核新科****公司，集采机构为中****公司。项目已具备采购条件，现对该项目进行公开谈判采购。

2、采购范围及相关要求

2.1 采购范围：硅烷合成装置1套、气体纯化系统1套、高纯硅烷制备相关试验外协服务1批。

2.2 交货期：合同签订后5个月内完成。

2.3 交货地点：在中标供应商的场地实施完成。

2.4 结算方式：货到验收合格且收到全额增值税专用发票后支付全款。

2.5 货物质量标准或主要技术性能指标：详见公告附件。

3、供应商资格要求

3.1 具有独立订立合同和履行合同能力的中华人民**国境内注册的法人或其他组织。

3.2 本次采购要求供应商须具备危险化学品经营许可证。

3.3 本次采购不接受联合体响应。

3.4 其他要求：

供应商不得存在下列情形之一：

3.5 其他要求：

83 ****机关在国家企业信用信息公示系统（http://www.****.cn/）中列入“严重违法失信企业名单（黑名单）”，以事业单位或其他组织身份参加应答的供应商可不提供；

83 ****法院在“信用中国”网站（www.****.cn）或“中国执行信息公开网”（https://zxgk.****.cn/shixin/）中列入“失信被执行人名单”；

83 ****公司或中****公司违纪违规名单、违约名单、资格暂停供应商清单（如有）或黑灰名单（如有），且未从上述名单中释放的。

注：应答人需提供上述网站查询结果截图，如截图不准确或不清晰的以评审现场查询结果为准。

3.6保 密及廉洁要求

供应商须遵守采购人的保 密要求（见保 密承诺函），并须遵守相关廉洁要求（见廉洁承诺函）。

4、采购文件的获取

4.1凡有意响应者，请于 2025年6月_20_日上午11时0分至2025 年6月26_日下午13时0****集团电子商务平台(https://www.****.com）完成本项目的报名，下载电子版采购文件。

4.2 任何未在平台完成注册报名并领购本项目采购文件的法人或其他组织，其响应将被拒绝。5、响应文件的递交

5.1 响应文件递交的截止时间（递交截止时间，下同）为 2025年6月26日下午13时0分，地点为地点为**市**区津塘路168号，中****公司核理化院项目部。文件收取人：王工；电话：135****9330。标书代写

5.2 纸质文件递交：逾期送达的、未送达指定地点的、****集团电子采购平台的要求线上报价并录入报价单、上传电子版响应文件的或者不按照采购文件要求密封的响应文件，将予以拒收。标书代写

纸质文件可以采用邮寄方式递交（邮寄地址、联系人及电话见5.1），响应文件的递交时间以采购人（集采机构）收到响应文件时间为准，供应商应自行考虑各种风险，并采取必要的保护措施保证响应文件外包装密封情况完好。

6、谈判时间和地点

递交响应文件的供应商应委派代表准时参加谈判活动，谈判开始时间同响应文件递交截止时间，与每一供应商进行谈判的具体时间另行通知。标书代写

谈判地点同响应文件递交地点。标书代写

7、发布公告的媒介

本次谈****集团电子商务平台(https://www.****.com）和中国招标投标公共服务平台（http://www.****.com/）上发布。

8、联系方式

采购人： 中核新科****公司

地址：**市**区**河街道**道28号

邮编：300000

联系人： 高工 （技术）

电话： 183****0799

采购集采机构：中****公司

联系人： 吴工 （商务）

电话： 138****2074

电子邮箱：****@163.com

公告附件：

1 概述

本技术规格书是根据中国原子能集中采购要求编制，供货商应按照本文件的相关要求，提供合格的物资和优质的服务。

2 规范和标准

在合同确定后，依据合同中的物资，供货商应遵守相应的行业标准、国家标准、国际标准以及技术规格书。所有材料均应有合格证明书，选用原材料需明确指明材料牌号，原材料应符合标准规定的化学物理性能。相关适用的规范和标准具体如下：

GB/T 50493-2019：规定了可燃和有毒气体检测点的布置原则及报警联动要求。

GB/T 15909-2017：明确硅烷的纯度、杂质含量及储存条件，间接影响系统密封性设计。硅烷系统安全规范：详细规定了泄漏应急处理、检测器安装及气瓶管理要求。

HJ 1230-2021：提供泄漏检测与修复的技术框架，适用于硅烷系统的日常维护。GB/T 12239-2008 工业阀门 金属隔膜阀

GB/T 14976-2012 流体输送用不锈钢无缝钢管

GB/T 28474.1-2012 工业过程测量和控制系统用压力/差压变送器

GB/T 7722-2020 电子台案秤

以及其他本项目涉及物资所对应的国家规范要求。

3 供货范围3.1 供货内容

有关四氟化硅制备硅烷的硅烷合成装置、气体纯化系统及高纯硅烷制备相关试验外协服务。

表1 采购物项范围

采购类别	名 称	数 量	备 注
设备类	硅烷合成装置（定制）	1套	详见本文4.1规定
设备类	气体纯化系统（定制）	1套	详见本文4.2规定
服务类	高纯硅烷制备相关试验外协服务	1批	详见本文4.3规定

3.2 提供文件

供货商应按照要求提供包括不限于如下文件：

出厂合格证；
使用说明书：需尽可能详尽、细致，清楚表达物资的特点、安装、使用等过程的要求和注意事项；
材料合格证明；
设计图纸、控制系统相关电气图纸；4 技术要求4.1 反应装置技术要求

该定制装置用于四氟化硅制备硅烷的合成反应，装置包含不限于：带搅拌高压反应釜、还原剂配置及加料装置、抽空系统、粗品收集容器、电子秤、配套连接管道阀门、温度压力监控仪表等，物料接触部分均采用无硅材质，建设完成后系统实现模块化撬装化，便于搬迁与组装。

整体反应为间歇反应，要求单批次收集到的硅烷50g~70g，示意图及主要配置如图1所示：

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图1 硅烷合成装置示意图

4.1.1 硅烷合成装置中主要设备技术要求：

1）高压反应釜：

材质：316L不锈钢。

全容积 ：5L，设计压力 5Mpa。

反应釜结构：带锚式搅拌配防爆变频电机，搅拌轴耐腐蚀且抗震，具有可翻转功能，夹套设计，支持导热油、水或其他冷媒作为循环介质，传热效率大于90%。

防爆要求：防爆设计符合GB/T 150-2011《压力容器》规定，设置爆破片或安全阀。

温度控制要求：温度精度±1℃。

压力监测：数显压力传感器（0~10MPa），误差≤0.5%FS，超压自动泄放。

泄漏率要求：采用双端面机械密封或磁力密封，泄漏率≤10639 Pa﹒m06/s，防止硅烷（易燃易爆）泄漏。

惰性保护：氮气置换系统，氧含量≤1ppm，防止硅烷自燃。

钝化处理：管道、阀门、VCR接头及容器内壁需进行化学钝化（如EP处理），减少表面活性位点。

加料容器

材质：316L不锈钢，EP级处理。

全容积：1L，设计压力 1Mpa。

加料上下口阀的要求：自主设计加料上口便于氢化物溶液加料，下口与高压反应釜对接。

加料方式：计量泵或重力进料，精度±0.5%，支持分批/连续投料。

加料计量方法：全密封加料方式，避免引入水、氧，计量精度±1g或±1ml。

硅烷冷凝器

材质：316L不锈钢，EP级处理。

换热面积：0.1m2。

冷媒：采用液氮冷却。

设计压力：1Mpa。

接口设计：进口与高压反应釜连接，出口与硅烷接收钢瓶连接。

接收钢瓶

材质：316L不锈钢。

容积：10L，阀门罗达莱克斯DISS632。

工作压力：≤8.5Mpa。

钢瓶研磨：粗糙度Ra＜0.5μm。

气密性测试：150Bar高压氮气测漏无气泡。

钢瓶内水氧含量要求：使用6N氮气置换烘干，水分≤0.1ppm，氧分≤0.1ppm。

保护气：负压，真空度10pa。

真空泵

无油，真空度达到10-2Pa。

冷阱

适用于10L钢瓶，液氮冷却。

4.1.2 硅烷合成装置清单

硅烷合成装置应包含不限于以下设备与材料，如表2所示，整体装置组装完成后需进行测漏验证，所有连接处需通过氦质谱检漏或压力衰减测试，确保漏率≤1×106361 Pa﹒m06/s。

表2 硅烷合成装置清单

供方负责编制加工图纸、工艺流程图、布置图、设备材料清单、装配方案等。相关材料出具后由需方进行评审后开始加工工作。在后续实际开展过程中 需方可根据实际情况进行调整。

4.2 气体纯化系统技术要求

4.2.1 气体纯化系统主要配置技术要求

气体纯化系统为用于硅烷粗品制备高纯硅烷的提纯装置，要求该系统包含不限于：脱轻塔、脱重塔、除杂塔，吸附塔、收集容器以及配套连接管道阀门、温度压力监控仪表等，物料接触部分均采用无硅材质，建设完成后系统实现模块化撬装化，便于搬迁与组装。系统配置见清单表；示意图及主要配置要求如图2。

1）单批次低纯硅烷投料量500g~1000g，纯化后硅烷产品纯度≥99.9999%，质量指标按国标GB/T 15909-2017《电子工业用气体 硅烷》规定执行。

2）材料选择与兼容性要求

主体材质：采用耐腐蚀、低吸附的316L不锈钢，内表面需电解抛光（Ra≤0.4μm），避免金属离子污染。

密封材料：全金属密封或氟橡胶以耐受硅烷的高反应性。

钝化处理：管道、阀门、VCR接头及容器内壁需进行化学钝化（如EP处理），减少表面活性位点。

3）工艺参数设计要求

温度控制：精馏塔操作温度需精确至±0.5℃，采用防爆制冷机器。

压力控制：正压精馏（压力18~22bar），配备高精度压力传感器（精度≤0.1% FS）和防爆型调节阀。

回流比：动态可调，适配原料杂质波动。

针对工艺流程中塔功能进行塔设计，应包含脱轻塔、脱重塔、吸附塔及除杂塔，各塔功能如下：

脱轻塔：主要脱去粗硅烷中的氢、氮、甲烷等轻组分气体；根据所去除气体设计脱轻塔，达到塔顶通过冷冻收集于轻组分小钢瓶内，塔釜收集粗硅烷，进入下一级工序。

脱重塔：主要脱去乙烷、乙基硅烷、四氟化硅和少量容剂；根据所去除气体设计脱重塔，塔顶出料为硅烷和乙烯，塔釜馏出物通过冷冻回收到重组分小钢瓶内。

吸附塔：主要吸附脱除乙烯类杂质，得到高纯的硅烷；

除杂塔：吸附后的高纯硅烷进入除杂塔，塔顶高纯硅烷进行收集，塔釜为剩余重组分，通过冷冻回收至重组分钢瓶内，进行下一次纯化。

真空泵组：选择无油干式泵，真空度达到10-6mbar。

4）自动化与控制系统

集成温度、压力、流量、液位等数据进行实时监控与记录，并与可燃气体报警器及氢气报警器相关联，随时记录空间危险气体浓度值。

预留在线气相色谱（GC）仪分析取样连接口和在线水分监测仪连接口。

安全联锁：泄漏浓度≥25% LEL时触发紧急切断（ESD系统）、氮气吹扫及自动泄压。

有惰性保护：全程氮气覆盖（氧含量＜1 ppm），停机时自动置换。

防爆结构：设备符合ATEX/IECEx标准，防爆等级Ex d IIB T4。

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图2 气体纯化系统装置示意图

4.2.2 气体纯化系统清单

气体纯化系统应包含不限于以下设备与材料，如表3所示，整体装置组装完成后需进行测漏验证，所有连接处需通过氦质谱检漏或压力衰减测试，确保漏率≤1×106361 Pa﹒m06/s。

表3 气体纯化系统配置清单

供方负责编制加工图纸、工艺流程图、布置图、设备材料清单、装配方案等。相关材料出具后由 需方进行评审后开始加工工作。在后续实际开展过程中 需方可根据实际情况进行调整。

4.3 技术服务技术要求

技术服务内容提供符合硅烷合成及分析试验的场地、水、电、压空等试验基础条件；提供天然四氟化硅、还原剂、溶剂、高纯惰性气体、辅助材料、防护用品以及对上述材料的贮存和管理服务；提供试验测漏、消漏、钢瓶前处理等服务；负责试验所产生废物的处理；提供试验期间安全、环保等管理服务；提供倒班辅助试验人员至少3人。

试验期间安全、环保等管理服务；
实验场地、实验设备加工、设备管路架设、连接管道、管路清洗、实验试剂供应、实验过程配合辅助、原料和过程品及产品的分析检测、实验所生产的废液处理等实验技术服务事项均由供方提供、采购和处理。
供方根据图1、图2中的工艺流程图结合采购设备，形成整体系统的PLC控制系统，供方配合出具质量检测等相关文件。
供方应配合需方完成整个采购物项及验收工作，供方应编制需方需要的本项目相关的各类文字材料，配合提供相应的证明文件。

4.3.1 管理服务

供方负责为需方提供可开展硅烷试验的公用工程及配套安全、环保服务。其中提供试验用场地、液氮、水、电、惰性气体等，试验场地包****试验场地，场地为甲类厂房，占地50m2以上，场地高度8m以上，分析检测场地等，可提供220V、380V电源，电路负载20kW以上，配防爆电源；可提供压力为0.6~1.5MPa 以上的惰性气体气源，场地温度在20-35℃之间。

供方负责在上述实验场地内开展实验设备安装、管路架设、管路连接及分析检测实验等工作。供方根据图 1-图2中的工艺流程图等资料采购试验过程中必要的阀门、管件等。

供方负责实验用试剂及材料的筹备及贮运，实验设备的定期维护保养，实验过程中定时巡检，供方负责设备的清洗清洁，安装调试等，包括控制系统的建设与调试。供方负责需方开展试验过程中安全工作。

供方负责监管并处理实验过程中产生的废气、废液及固体废物。废气主要是吹气、脉冲排气等。废液主要成分为有机废液、含氟盐类溶液等；固体废物包括使用过的劳保用品。

标准试剂包括还原剂、溶剂、四氟化硅，其标准规格及数量要求如表4所示。提供的标准试剂应符合本文件中的要求，如购买不到，须与需方协商解决。

表4 标准试剂清单

试剂名称	试剂成分	数量kg
还原剂1	≥97%	20
溶剂	分析纯	500
四氟化硅	≥99.99%	50

注：根据实验需求可进行调整，包含但不限于以上试剂清单。

实验过程中需用到的劳保用品均由供方负责提供。劳保用品清单如表5所示 。

表5 劳保用品清单

注：根据实验需求可进行调整，包含但不限于以上清单。

供方应具备表4~表6所列试剂及材料的贮存条件和使用管理资质，由供货方负责对实验试剂及材料存放区域进行全面安全监管，防火、防爆、防漏电，保持良好的通风环境。 供方全权负责上述全部过程人员的安全等事宜。

供方负责组人员记录、处理实验数据。包括手动记录原始数据、统计图片数据等信息，最终以图片和表格文件的形式交付。

4.3.2 试验技术服务

供方负责配合需方开展硅烷合成试验、纯化试验及分析方法的建立和产品及过程品分析等相关工作；供方配合需方按工艺流程图进行工艺试验，研究工艺参数，如还原剂与容积配比，四氟化硅通气流量，反应时间等，纯化工艺中的纯化效率，纯化时间等等，分析检测的方法建立和产品过程品的检测，建立配套硅烷及四氟化硅的气相色谱分析进样系统及后处理系统，保证各系统密封性，并具有氮气/氦气吹扫功能，制备系统预留接口，与气相色谱进口、出口连接；通过试验技术服务形成具体工艺参数，输出工艺规程。

供方负责配合 需方开展配套辅助试验的相关工作； 供方配合 需方开展钢瓶前处理工艺研究，试验过程及分析产生的三废吸收处理工艺研究，形成配套的工艺设备及参数，输出工艺规程。

供方负责本部分工作中的场地、材料、试剂、人力等。

5 采购执行要求5.1 进度要求

表6 进度要求

5.2 质量保证
重要零部件加工过程中应有质量跟踪卡或相关证明文件。
所有不符合项均需提交书面报告，提出处理意见交业主认可后再进行相关处理；
制造厂应将设计、制造、检查、试验等有关文件资料妥善保管，保管期为10年， 需方有权随时查验。6 验收标准

6.1 供方提供材料必须满足以上技术要求，并按技术要求逐一验证；

6.2 其他验收项目及验收要求，具体如下表所示：

表7 验收要求

7 质保期及售后服务
本系统内通用设备和非标设备均设置质保期，时间为1年，质保期自双方签署验收合格报告之日开始计算。在质保期内，除不可抗力和需方技术人员使用明显操作不当外，一切故障都有供方提供免费维修。如供方所交付设备、配件等材料与协议规定的名称、型号、数量不符或性能指标达不到要求，影响正常运转，供方需在一个月内进行更换或补充。
供货方应按需方的要求派技术人员到现场进行技术服务，负责组装、调试及培训，实现技术指标，且需方掌握理论和实际操作。需方无需为该培训另行支付费用。由供方解决系统材料的安装调试，初步验收过程中发现的质量及性能等有关问题，费用由供方自行负担。
供方应按本技术要求对需方做相应的技术配合等全过程服务，供方供货后根据需方试验要求，配合需方对系统进行优化和调整。
质保期内如设备出现故障，供方应在接到需方通知后4小时内响应，24小时内确定故障原因和维修方法，如需到现场维修，供方维修工程师应在48小时内（遇不可抗力的因素除外）到达现场，免费更换受损元件和提供免费服务，快速排除故障，期间产生的一切费用由供方承担。

中****公司

2025年06月20日