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衍射型套刻偏差量测仪
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25000000.00
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***********公司企业信息
****2025年7至12月政府采购意向-衍射型套刻偏差量测仪 详细情况
| 衍射型套刻偏差量测仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 衍射型套刻偏差量测仪 |
| 预算金额： | 2500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他电工、电子生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
主要用于量测对准误差并将数据反馈给光刻机进行修正补偿，主要参数指标包括：总量测不确定度：小于0.2nm；量测波长：425nm-885nm；可以将量测结果反馈给光刻机进行补偿。
|
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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