关于天津中科晶禾电子科技有限责任公司先进半导体异质集成装备制造与研发项目环境影响评价拟审批公示

项目名称

先进半导体异质集成装备制造与研发

建设地点

******科技园**路4668****创业园38#厂房

建设单位

****

环境影响评价机构

**路远达****公司

项目概况

****拟投资5000万元，租赁******科技园**路4668****创业园38#厂房建设先进半导体异质集成装备制造与研发项目。该项目主要建设内容为：购置生产设备及辅助生产设施研发和生产先进半导体异质集成设备，项目建成后可实现年产100台先进半导体异质集成设备。该项目环保投资35万元，主要用于施工期噪声及固废治理措施，运营期废气收集及治理、噪声污染防治、排污口规范化等措施。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

根据该项目环境影响报告表分析结论：

（一）工件清洁、匀胶、烘干、键合实验过程中产生的废气收集后进入“二级活性炭吸附装置”处理，之后通过1根30米高排气筒P1排放。非甲烷总烃、TRVOC的排放速率和排放浓度须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020) 相应限值要求；氟化物的排放速率和排放浓度须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）相应限值要求，臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)相应限值要求。

装配焊接、打标过程中产生的废气经移动式除尘设备及设备自带除尘设备装置收集处理后无组织排放，厂房外非甲烷总烃的浓度须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020) 相应限值要求；厂界处非甲烷总烃、颗粒物、锡及其化合物的浓度须满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）相应限值要求，臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》（DB12/059-2018）相应限值要求。

（二）生活污水经化粪池处理后，与纯水制备排浓水、循环水系统排水一并经本项目所在38#厂房污水总排口排入厂区污水管网，后经厂区污水排口汇入市政污水管网，****处理厂集中处理。厂区总排口废水水质须满足《污水综合排放标准》（DB12/356-2018）三级标准限值要求，其他污染物排放浓度能满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）。

（三）超声波清洗通风橱、洁净空调系统以及引风机等设备为主要噪声源，应优先选用低噪设备，采取隔声、减振等措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准限值要求。

（四）固体废物分类收集。****管理部门统一清运。废外包装材料、废过滤网、废晶片、废空气过滤材料属于一般工业固体废物，****回收部门回收处理。废反渗透膜由厂家回收。配件清洗废液、废研磨液、测试用晶片加工清洗废液、废抛光液、蚀刻炉清洗废液、废化学试剂包装瓶/包装桶、废活性炭属于危险废物，定期交有资质的单位统一处理。确保处置去向合理，避免产生二次污染。

（五）加强对危险物料的管理，制定应急预案，落实各项事故防范、减缓措施，有效避免事故发生。

公众参与情况

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公示时间

2025年6月23日至2025年6月27日