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重庆超硅半导体极大规模集成电路用8英寸/12英寸抛光硅片及其延伸产品（二期）建设项目（二阶段）

审批

重庆-重庆-北碚区

发布时间： 2025年06月23日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
915********907250A	陈猛
岑济	**市两江新区
**市两江新区水土街道云福路101号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

**超硅半导体极大规模集成电路用8英寸/12英寸抛光硅片及其延伸产品（二期）建设项目（二阶段）

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	**市两江新区水土街道云福路101号
经度:106.52252 纬度: 29.81863	**保护局**分局
	2022-08-10
渝（两江）环准〔2022〕097号	****
2020-07-08	10149
	****
915********907250A	******公司
915********6882354	****
****0107MA5YYRNTXD	2024-08-08

2025-05-21	2025-06-18
	https://www.****.com/content/97504.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无变动。

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年新增8英寸抛光硅片342万片的生产能力。建成后全厂规模为年产8英寸/12英寸抛光硅片及其延伸产品共计480万片。	一阶段已建成年产8英寸抛光硅片222万片的生产能力，并已通过竣工环保验收。本次验收对象为二阶段，已建成年产8英寸抛光硅片128万片的生产能力，其中8万片8英寸抛光硅片生产能力系拆除12英寸抛光硅片生产线后的产能置换。二阶段建成后，全厂规模为年产8英寸抛光硅片及其延伸产品共计480万片，全厂硅片生产总产能未变化。
拆除现有12英寸抛光硅片生产线，取消年产12英寸抛光硅片8万片，改为生产8英寸抛光硅片。二阶段建成后，全厂规模为年产8英寸抛光硅片及其延伸产品共计480万片，全厂硅片生产总产能未变化。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

拉晶、滚圆、锯切，切割及及其后清洗、倒角、磨片、腐蚀、边缘抛光及其后清洗、预清洗、退火、化学气相沉积CVD、背封、抛光、粗清洗、清洗、氩气退化及其后清洗、终清洗、SOI、检测、包装，取片检验等工序。	拉晶、滚圆、锯切，切割及及其后清洗、倒角、磨片、腐蚀、边缘抛光及其后清洗、预清洗、退火、化学气相沉积CVD、背封、抛光、粗清洗、清洗、氩气退化及其后清洗、终清洗、SOI、检测、包装，取片检验等工序。
无变动。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废气：（1）拉晶车间酸性废气采用“四级喷淋洗涤塔+一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根26m高排气筒（DA001）引至厂房屋顶排放。（2）拉晶车间氧化硅废气从拉晶炉下方排气口进入真空过滤器，经真空过滤器过滤后，经1根20m高排气筒（DA006）引至厂房屋顶排放。（3）硅片制造车间酸性废气采用“两级喷淋洗涤塔+一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根30m高排气筒（DA002）引至厂房屋顶排放。（4）硅片制造车间碱性废气采用“一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根24m高排气筒（DA003）引至厂房屋顶排放。（5）硅片制造车间硅烷废气采用“水喷淋洗涤塔”处理后，经1根24m高排气筒（DA004）引至厂房屋顶排放。 2、废水：（1）生产废水由研磨废水、含氟废水、酸碱废水、高浓度废水组成，**处理站总处理能力提高到7500m3/d，生产废水处理达标后由DW001综合污水排处理厂的市政污水管网。（2）生活污水由生化池处理达标后由2#、3#生活污水排处理厂的市政污水管网。 3、噪声：主要采取选用低噪声设备，采用减振基础，软连接、弹性连接，建筑隔声、隔声屏障，消声片、消声器等措施。 4、固废：（1）危险废物：依托现有1#危废贮存间（面积约100㎡）、2#危废贮存间（面积约100㎡）、3#危废贮存间（面积约30㎡）暂存，定期交有危废资质单位处理；对含氟废水处理单元污泥、高浓度废水处理单元污泥、废晶硅切割砂浆进行危险废物鉴别，若危险废物鉴定为一般工业固废，则废晶硅切割砂浆外售综合利用，含氟废水处理单元污泥和高浓度废水处理单元污泥交一般工业固体废物处置场处置，鉴定前按危险废物进行管理。（2）一般工业固废：依托现有工业固废贮存间（面积约60㎡）暂存，可回收部分外卖综合利用，不可回收部分交由重**公司处置。（3）生活垃圾依托现有生活垃圾暂存点暂存，由环卫部门收运、处置。	1、废气：二阶段废气处理依托现有已验收废气处理设施处理达标后排放，依托情况为：（1）拉晶车间酸性废气采用“四级喷淋洗涤塔+一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根26m高排气筒（DA001）引至厂房屋顶排放。（2）拉晶车间氧化硅废气从拉晶炉下方排气口进入真空过滤器，经真空过滤器过滤后，经1根20m高排气筒（DA006）引至厂房屋顶排放。（3）硅片制造车间酸性废气采用“两级喷淋洗涤塔+一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根30m高排气筒（DA002）引至厂房屋顶排放。（4）硅片制造车间碱性废气采用“一级喷淋洗涤塔”处理后，经1根24m高排气筒（DA003）引至厂房屋顶排放。（5）硅片制造车间硅烷废气采用“水喷淋洗涤塔”处理后，经1根24m高排气筒（DA004）引至厂房屋顶排放。 2、废水：二阶段废水处理依托现有已验收废水处理设施处理达标后排放，依托情况为：（1）生产废水由研磨废水、含氟废水、酸碱废水、高浓度废水组成，**处理站总处理能力7500m3/d，生产废水处理达标后由DW001综合污水排处理厂的市政污水管网。（2）生活污水由生化池处理达标后由2#、3#生活污水排处理厂的市政污水管网。（3）一阶段新增1套含铬废水回用处理系统（设计处理规模5m3/d），二阶段依托含铬废水回用处理系统处理含铬取片检验工序中二次水洗环节产生的含铬废水，产生的含铬废液作为危险废物管理，交由有危废资质处置，减少了最终委外处置含铬废液量（危险废物）。 3、噪声：主要采取选用低噪声设备，采用减振基础，软连接、弹性连接，建筑隔声、隔声屏障，消声片、消声器等措施。 4、固废：二阶段固废暂存依托现有已验收固废暂存设施（现场重新复核面积），委外处置，依托情况为：（1）危险废物：依托现有1#危废贮存间（面积184㎡）、3#危废贮存间（面积280㎡）暂存，定期交有危废资质单位处理。（2）一般工业固废：1#工业固废贮存间（面积400㎡）、2#工业固废贮存间（面积276㎡）暂存，可回收部分外卖综合利用，不可回收部分交由重**公司处置。（3）生活垃圾依托现有生活垃圾暂存点暂存，由环卫部门收运、处置。
（1）为节约水**，减少新鲜水用量和含铬废水产生量，一阶段新增1套含铬废水回用处理系统（设计处理规模5m3/d），用于处理含铬取片检验工序中二次水洗环节产生的含铬废水，处理后产生的回用水全部回用于该工序二次水洗环节，产生的含铬废液作为危险废物委托有危废资质处置；已在一阶段通过竣工环保验收。（2）2022年8月24日，经危险废物鉴别，生产废水处理污泥（含氟废水处理单元污泥、高浓度废水处理单元污泥）和废晶硅切割砂浆均不属于危险废物，2#危废贮存间变更为2#工业固废贮存间；已在一阶段通过竣工环保验收。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

****处理站放流监视槽（生产废水排放口）设置废水在线监测设备，并与生态环境主管部门联网。	****处理站放流监视槽（DW001综合污水排放口）设有废水在线监测设备，已通过验收并与生态环境主管部门联网。
无变动。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

93.599	182.34	251.678	93.599	182.34	88.741
65.884	49.362	176.586	65.884	49.362	-16.522
6.215	8.948	21.097	6.215	8.948	2.733
0	0	0	0	0	0
5.852	21.542	0	5.852	21.542	15.69
132854	200586	0	132854	200586	67732	/
0	0	0	0	0	0	/
3.075	0.243	0	0.4192	2.899	-0.176	/
0	0.701	0	0	0.701	0.701	/
0	0	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生产废水站	（GB39731-2020）《电子工业水污染物排放标准》表1中间接排放限值及单位产品基准排水量	****处理站实施扩建，扩建后总处理能力提高到7500m3/d，其中研磨废水处理单元处理能力提高到2500m3/d，含氟废水处理单元处理能力提高到1000m3/d（处理后的含氟废水进入高浓度废水处理单元），酸碱废水处理单元处理能力（1000m3/d）不变，高浓度废水处理单元处理能力提高到2000m3/d。	委托****进行了竣工环境保护验收监测
2	含铬取片检验工序-二次水洗含铬废水	不外排	新增1套含铬废水回用处理系统（设计处理规模5m3/d），用于处理含铬取片检验工序中二次水洗环节产生的含铬废水，处理后产生的回用水全部回用于该工序二次水洗环节，产生的含铬废液作为危险废物委托有危废资质处置。	无需监测
3	生化池	（GB8978-1996）《污水综合排放标准》表4中三级排放标准及（GB/T31962-2015）《污水排入城镇下水道水质标准》中B级标准	2#生化池设计处理规模为40m3/d，处理达标后由1#生活污水排放口排入市政污水管网。3#生化池设计处理规模为70m3/d，处理达标后由2#生活污水排放口排入市政污水管网。	委托****进行了竣工环境保护验收监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA001拉晶车间酸性废气处理设施	（DB50/418-2016）《大气污染物综合排放标准》表1中主**排放限值	采用“四级喷淋洗涤塔（氢氧化钠、稀硫酸+亚氯酸钠、2级氢氧化钠+硫氢化钠）+一级喷淋洗涤塔（氢氧化钠+次氯酸钠）”处理后，经1根26m高排气筒（DA001）引至厂房屋顶排放。	委托****进行了竣工环境保护验收监测
2	DA006拉晶车间氧化硅废气处理设施	（DB50/418-2016）《大气污染物综合排放标准》表1中主**排放限值	从拉晶炉下方排气口进入真空过滤器，经真空过滤器过滤后，经1根20m高排气筒（DA006）引至厂房屋顶排放。	委托****进行了竣工环境保护验收监测
3	DA002硅片制造车间酸性废气处理设施	（DB50/418-2016）《大气污染物综合排放标准》表1中主**排放限值	采用“两级喷淋洗涤塔（硫氢化钠+次氯酸钠）+一级喷淋洗涤塔（2台氢氧化钠喷淋塔并联）”处理后，经1根30m高排气筒（DA002）引至厂房屋顶排放。	委托****进行了竣工环境保护验收监测
4	DA003硅片制造车间碱性废气处理设施	（GB14554-93）《恶臭污染物排放标准》表2中排放限值	采用“一级喷淋洗涤塔（2台稀硫酸喷淋塔并联）”处理后，经1根24m高排气筒（DA003）引至厂房屋顶排放。	委托****进行了竣工环境保护验收监测
5	DA004硅片制造车间硅烷废气处理设施	（GB14554-93）《恶臭污染物排放标准》表2中排放限值	采用“水喷淋洗涤塔”处理后，经1根24m高排气筒（DA004）引至厂房屋顶排放。	委托****进行了竣工环境保护验收监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪设施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中3类标准

选用低噪声设备，采用减振基础，软连接、弹性连接，建筑隔声、隔声屏障，消声片、消声器等措施。

委托****进行了竣工环境保护验收监测

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1	危险废物依托现有危废贮存间分类暂存，定期交有危废资质单位处理。	依托现有1#危废贮存间（面积184㎡）、3#危废贮存间（面积280㎡）暂存，定期交有危废资质单位处理。
2	一般工业固废依托现有工业固废贮存间暂存。	依托现有1#工业固废贮存间（面积400㎡）、2#工业固废贮存间（面积276㎡）暂存，可回收部分外卖综合利用，不可回收部分交由重****公司处置。
3	生活垃圾依托现有生活垃圾暂存点暂存，由环卫部门收运、处置。	生活垃圾依托现有生活垃圾暂存点暂存，由环卫部门收运、处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1	修订风险评估及应急预案并备案，定期开展演练。	修订了风险评估及应急预案并备案，定期开展了演练。
2	存放液体化学品、油品和液态危险废物的车间或场所均设置围堰。	存放液体化学品、油品和液态危险废物的车间或场所均设有围堰。
3	研磨废水、有机废水、无机废水事故水池，总有效容积2830m3。	研磨废水、有机废水、无机废水事故水池，总有效容积2830m3。
4	特殊气体分配间、腐蚀气体间设置事故废气收集系统及有毒、易燃气体泄漏报警装置。	特殊气体分配间、腐蚀气体间设有事故废气收集系统及有毒、易燃气体泄漏报警装置。
5	所有危险气体钢瓶置放于气瓶柜内，气瓶柜安装排风装置，设置火焰探测装置。	所有危险气体钢瓶置放于气瓶柜内，气瓶柜安装排风装置，设有火焰探测装置。
6	****救援队伍，配备应急物资。	****救援队伍，配备了应急物资。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程