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低温超薄制备系统采购结果公告
招标详情
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***********公司企业信息
| 申购单主题： | 低温超薄制备系统 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 低温超薄制备系统 | 奇汇 | QHV-R96 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | 1.极限真空: 优于4×10-5Pa（新设备） 2.漏 率: 6.7×10-8Pa﹒L/S 3.工作真空: 5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于20分钟（新设备冷态下,连接手套箱） 4.系统保压: 系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。 5.样品尺寸: 100×100mm. 6.样品托尺寸: 106×116mm. 7.样品架与源表面距离: 300mm 8.蒸发源: 有机源×2套 9.样品台升降距离: 无升降。样品架温度0~90℃连续可控。 10.真空室开腔形式: 手动前大开门结构 11.膜厚探头: 水冷4只，安装在蒸发源上方。 12.装片方式: 侧插方式。 13.光路预留: 有测量光路的预留口。 14.减震: 设备整体与底面之间安装有气动减震模块。 15:手套箱防抽爆：配置。 16.制备方式：电流，电压，温度，速率闭环反馈控制。 1.1蒸发室 1套。此蒸发设备由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢 SUS304，前后开门结构。真空室尺寸为420×420×550mm。前开门嵌套在手套箱内，隐藏式侧滑门结构。 1.2蒸发屏蔽板 1套。真空室侧壁，底板，上板，可以方便拆卸，清洗。 1.3 DN90观察窗 二套。尺寸为DN90mm。材质为石英玻璃。一套内门，一套外门。 1.4 DN190×100观察窗 一套。尺寸为DN190×100。胶圈密封观察窗。 1.5样品架 1套。蒸发源和样品距离为300mm。在升降架侧安装有指示标尺。样品架可旋转，转速手动可调整。电动旋转0～30转/分。每次可安装 100mm100mm样品1片。带有水冷盘结构，样品与水冷盘间距1mm。 1.6样品架挡板 1套。气动/磁力耦合原理。安装在真空室侧壁，在真空室外有位置限制。旋开方式。 1.7有机源及挡板 2套。石英坩埚容量3cc ,加热丝裸露，新型仿进口结构，高口石英坩埚，降温速度快。 1.8 膜厚探头 4套。国产膜厚探头。 CF35，水冷结构，用于测量蒸发速率。安装在真空室侧壁上，标配4只，用于测量膜厚和蒸发速率，测量精度0.01 。 1.9四芯电极 1套。CF35-4,用于电流的馈入。 1.10烘烤灯组件 1套。烘烤与照明灯分开。两只烘烤灯，一只照明灯。便于迅速除去水汽，提高真空度。 2. 真空获得系统 1套 腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 180000 | 最低价原则 | |||||
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