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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********418733D | 建设单位法人:赵建辉 |
| 方春黎 | 建设单位所在行政区划:****门市**区 |
| 市头路与舫阳路交叉口、孙厝村对面 |
| 6-8英寸SiC外延晶片研发及产业化项目(一期) | 项目代码:****、2302-350298-06-01-957645、2312-350298-06-02-488334 |
| 建设性质: | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
| 建设地点: | ******区 ******区 |
| 经度:118.25292 纬度: 24.64431 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2023-12-12 |
| 厦翔环审〔2023〕128号 | 本工程排污许可证编号:913********418733D003X |
| 2024-01-17 | 项目实际总投资(万元):231484.28 |
| 6450 | 运营单位名称:**** |
| 913********418733D | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 913********418733D | 验收监测单位:******公司 |
| 913********339180R | 竣工时间:2024-12-31 |
| 2025-01-01 | 调试结束时间:2025-04-20 |
| 2025-05-23 | 验收报告公开结束时间:2025-06-23 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=50523QphrL |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 年产碳化硅外延晶片50万片 | 实际建设情况:年产碳化硅外延晶片50万片 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 1A衬底准备→2A外延生长(2A1B、2A2B、2A3B三个工艺环节仅在定期维护时采用,正常情况下只需进行2A)→3A外延参数表征→4A封装入库→外延炉清洁 | 实际建设情况:1A衬底准备→2A外延生长(2A1B、2A2B、2A3B三个工艺环节仅在定期维护时采用,正常情况下只需进行2A)→3A外延参数表征→4A封装入库→外延炉清洁 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 1、废水:生****处理站(TW001)处理达标后排入**水质净化厂,****处理站处理能力为900m3/d,经过规范化排放口DW001外排;生活污水经化粪池处理达标后经DW002外排,最终废水经过一个总的排放口外排至厂区外的市政污水管网。 2、废气:(1)外延炉尾气:每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,总处理量为27000m3/h。 (2)清洗废气:密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,处理量为10500m3/h。 3、噪声:设置减振基础、安装消声装置等隔音降噪措施。 4、固废:一般固废收集于一般固废间,位于M1厂房西南角,面积约为50m2。危险废物集中储存于危废仓库,位于H1甲类车间,面积约40m2。生活垃圾由环卫部门处置。 | 实际建设情况:1、废水:生****处理站(TW001)处理达标后排入**水质净化厂,****处理站处理能力为1200m3/d,经过规范化排放口DW001外排;生活污水经化粪池处理达标后经DW002外排,最终废水经过一个总的排放口外排至厂区外的市政污水管网。 2、废气:(1)外延炉尾气:每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)两两串联处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,两套设计风量均为20000m3/h。 (2)清洗废气:密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,其中3套设计风量为35000m3/h,4套设计风量为46000m3/h。 3、噪声:设置减振基础、安装消声装置等隔音降噪措施。 4、固废:一般固废收集于一般固废间,位于2#厂房,面积约为50m2。危险废物集中储存于危废仓库,位于H1甲类车间,面积约40m2。生活垃圾由环卫部门处置。 |
| ①废气污染防治措施与环评一致,设计风量增大,提高整体的废气处理效率; ②废水处理站能力规模扩大至1200m3/d,增加300m3/d,提高应对突发污染事件的能力,增强系统的适应性和优化**配置。 属污染防治措施强化或改进措施。 | 是否属于重大变动:|
| 配套建设281.6m3事故应急池 | 实际建设情况:配套建设650m3应急事故池 |
| 环评阶段预计配套建设281.6m3事故应急池,事故应急池目前在规划建设阶段,拟在厂区西北侧地势最低处建设650m3应急事故池,现阶段采用应急水袋过渡,事故应急池容积增大,提高环境风险防范能力。 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 7.581 | 0 | 0 | 0 | 7.581 | 7.581 | |
| 0 | 1.099 | 2.2792 | 0 | 0 | 1.099 | 1.099 | |
| 0 | 0.0451 | 0.1364 | 0 | 0 | 0.045 | 0.045 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0454 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.4176 | 1.8912 | 0 | 0 | 0.418 | 0.418 | / |
| 0 | 12.06 | 0 | 0 | 0 | 12.06 | 12.06 | / |
| 0 | 5.3244 | 0 | 0 | 0 | 5.324 | 5.324 | / |
| 0 | 0.3996 | 0 | 0 | 0 | 0.4 | 0.4 | / |
| 0 | 0.2808 | 0 | 0 | 0 | 0.281 | 0.281 | / |
| 1 | 化粪池 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级标准(其中氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中B级标准) | 三级化粪池 | 生活污水排入市政管网,不对其进行检测 | |
| 2 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中间接排放标准(其中BOD5参照《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准) | ****处理站处理能力为1200m3/d | 已于2025年4月29日-30日对其进行监测 |
| 1 | 碱液喷淋塔 | 氯化氢执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1标准限值,非甲烷总烃执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表2、表3其他行业标准 | 每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)两两串联处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,两套设计风量均为20000m3/h。 | 已于2025年4月29日-30日对其进行监测 | |
| 2 | 碱液喷淋塔+活性炭吸附 | 氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1标准限值,氨和臭气浓度参照执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2 | 密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,其中3套设计风量为35000m3/h,4套设计风量为46000m3/h。 | 已于2025年4月29日-30日对其进行监测 |
| 1 | 厂房隔声、基础减震 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中的3类标准 | 厂房隔声、基础减震 | 已于2025年4月29日-30日对其进行监测 |
| 1 | (1)重点防渗区:自建污水站设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能,且放置地面采取厚度大于250mm的混凝土浇筑及2mm厚的环氧树脂材料做相应的防腐防渗处理,危废仓库和化学品仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的相关要求设计; (2)一般防渗区:一般固废仓库参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)的相关要求设计;原料、成品仓库设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥1.5m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能; 简单防渗区:除了重点及一般防护区外的区域,主要包括办公、厂区道路等,对于基本上不产生污染的非污染防治区,不采取专门针对地下水污染的防治措施。 | (1)重点防渗区:自建污水站设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能,且放置地面采取厚度大于250mm的混凝土浇筑及2mm厚的环氧树脂材料做相应的防腐防渗处理,危废仓库和化学品仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的相关要求设计; (2)一般防渗区:一般固废仓库参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)的相关要求设计;原料、成品仓库设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥1.5m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能; 简单防渗区:除了重点及一般防护区外的区域,主要包括办公、厂区道路等,对于基本上不产生污染的非污染防治区,不采取专门针对地下水污染的防治措施。 |
| 1 | 项目产生的一般工业固体废物执行《固体废物鉴别标准通则》(GB34330-2017)和《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020);危险废物鉴别执行《危险废物鉴别标准通则》(GB5085.7-2007)、《危险废物鉴别技术规范》(HJ298-2019)和《国家危险废物名录》,危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)相关内容。 | 危险废物(废吸附反应剂、废活性炭、废过滤棉、废试剂瓶、废无尘布、污水处理污泥、废矿物油)危废间暂存,定期委托****处置;一般固废中废分子筛、钯膜管、废石墨基座、废树脂等产生后委托有主体技术和资格的单位处置,不合格品交由衬底外售厂家回收进行反抛后再外售,废劳保用品与生活垃圾一同交由环卫清运。 |
| 1 | 配套建设1个281.6m3事故应急池 | 拟建设650m3应急事故池(容积增大),现阶段采用应急水袋过渡。 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |