6-8英寸SiC外延晶片研发及产业化项目(一期)

审批
福建-厦门-翔安区
发布时间: 2025年06月24日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称: 建设单位代码类型: 建设单位机构代码: 建设单位法人: 建设单位联系人: 建设单位所在行政区划: 建设单位详细地址:
****
913********418733D赵建辉
方春黎****门市**区
市头路与舫阳路交叉口、孙厝村对面
建设项目基本信息
项目名称: 项目代码: 项目类型: 建设性质: 行业类别(分类管理名录): 行业类别(国民经济代码): 工程性质: 建设地点: 中心坐标: ****机关: 环评文件类型: 环评批复时间: 环评审批文号: 本工程排污许可证编号: 排污许可批准时间: 项目实际总投资(万元): 项目实际环保投资(万元): 运营单位名称: 运营单位组织机构代码: 验收监测(调查)报告编制机构名称: 验收监测(调查)报告编制机构代码: 验收监测单位: 验收监测单位组织机构代码: 竣工时间: 调试起始时间: 调试结束时间: 验收报告公开起始时间: 验收报告公开结束时间: 验收报告公开形式: 验收报告公开载体:
6-8英寸SiC外延晶片研发及产业化项目(一期)****、2302-350298-06-01-957645、2312-350298-06-02-488334
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造C3985-C3985-电子专用材料制造
******区 ******区
经度:118.25292 纬度: 24.64431****环境局
2023-12-12
厦翔环审〔2023〕128号913********418733D003X
2024-01-17231484.28
6450****
913********418733D****
913********418733D******公司
913********339180R2024-12-31
2025-01-012025-04-20
2025-05-232025-06-23
https://www.****.com/gs/detail/2?id=50523QphrL
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
****
规模
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
年产碳化硅外延晶片50万片年产碳化硅外延晶片50万片
生产工艺
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
1A衬底准备→2A外延生长(2A1B、2A2B、2A3B三个工艺环节仅在定期维护时采用,正常情况下只需进行2A)→3A外延参数表征→4A封装入库→外延炉清洁1A衬底准备→2A外延生长(2A1B、2A2B、2A3B三个工艺环节仅在定期维护时采用,正常情况下只需进行2A)→3A外延参数表征→4A封装入库→外延炉清洁
环保设施或环保措施
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
1、废水:生****处理站(TW001)处理达标后排入**水质净化厂,****处理站处理能力为900m3/d,经过规范化排放口DW001外排;生活污水经化粪池处理达标后经DW002外排,最终废水经过一个总的排放口外排至厂区外的市政污水管网。 2、废气:(1)外延炉尾气:每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,总处理量为27000m3/h。 (2)清洗废气:密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,处理量为10500m3/h。 3、噪声:设置减振基础、安装消声装置等隔音降噪措施。 4、固废:一般固废收集于一般固废间,位于M1厂房西南角,面积约为50m2。危险废物集中储存于危废仓库,位于H1甲类车间,面积约40m2。生活垃圾由环卫部门处置。1、废水:生****处理站(TW001)处理达标后排入**水质净化厂,****处理站处理能力为1200m3/d,经过规范化排放口DW001外排;生活污水经化粪池处理达标后经DW002外排,最终废水经过一个总的排放口外排至厂区外的市政污水管网。 2、废气:(1)外延炉尾气:每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)两两串联处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,两套设计风量均为20000m3/h。 (2)清洗废气:密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,其中3套设计风量为35000m3/h,4套设计风量为46000m3/h。 3、噪声:设置减振基础、安装消声装置等隔音降噪措施。 4、固废:一般固废收集于一般固废间,位于2#厂房,面积约为50m2。危险废物集中储存于危废仓库,位于H1甲类车间,面积约40m2。生活垃圾由环卫部门处置。
①废气污染防治措施与环评一致,设计风量增大,提高整体的废气处理效率; ②废水处理站能力规模扩大至1200m3/d,增加300m3/d,提高应对突发污染事件的能力,增强系统的适应性和优化**配置。 属污染防治措施强化或改进措施。
其他
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
配套建设281.6m3事故应急池配套建设650m3应急事故池
环评阶段预计配套建设281.6m3事故应急池,事故应急池目前在规划建设阶段,拟在厂区西北侧地势最低处建设650m3应急事故池,现阶段采用应急水袋过渡,事故应急池容积增大,提高环境风险防范能力。
3、污染物排放量
污染物 现有工程(已建成的) 本工程(本期建设的) 总体工程 总体工程(现有工程+本工程) 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 (万吨/年) COD(吨/年) 氨氮(吨/年) 总磷(吨/年) 总氮(吨/年) 废气 气量 (万立方米/年) 二氧化硫(吨/年) 氮氧化物(吨/年) 颗粒物(吨/年) 挥发性有机物(吨/年) 氯化氢(吨/年) 硫酸雾(吨/年) 氟化物(吨/年) 氨(吨/年)
0 7.581 0 0 0 7.581 7.581
0 1.099 2.2792 0 0 1.099 1.099
0 0.0451 0.1364 0 0 0.045 0.045
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0.0454 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0.4176 1.8912 0 0 0.418 0.418 /
0 12.06 0 0 0 12.06 12.06 /
0 5.3244 0 0 0 5.324 5.324 /
0 0.3996 0 0 0 0.4 0.4 /
0 0.2808 0 0 0 0.281 0.281 /
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 化粪池 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级标准(其中氨氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中B级标准) 三级化粪池 生活污水排入市政管网,不对其进行检测
2 ****处理站 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1中间接排放标准(其中BOD5参照《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准) ****处理站处理能力为1200m3/d 已于2025年4月29日-30日对其进行监测
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 碱液喷淋塔 氯化氢执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1标准限值,非甲烷总烃执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表2、表3其他行业标准 每台外延炉配备1台CLEANSORB废气净化器,尾气处理后分别经4套“碱液喷淋塔”(TA001~TA004)两两串联处理后合并通过1根离地29m高的排气筒(DA001)排放,两套设计风量均为20000m3/h。 已于2025年4月29日-30日对其进行监测
2 碱液喷淋塔+活性炭吸附 氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物执行《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1标准限值,氨和臭气浓度参照执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2 密闭设备配套管道收集后通过7套“碱液喷淋塔+活性炭吸附”装置(TA005~TA011)处理后合并通过1根离地29m高排气筒(DA002)排放,其中3套设计风量为35000m3/h,4套设计风量为46000m3/h。 已于2025年4月29日-30日对其进行监测
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 厂房隔声、基础减震 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中的3类标准 厂房隔声、基础减震 已于2025年4月29日-30日对其进行监测
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 (1)重点防渗区:自建污水站设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能,且放置地面采取厚度大于250mm的混凝土浇筑及2mm厚的环氧树脂材料做相应的防腐防渗处理,危废仓库和化学品仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的相关要求设计; (2)一般防渗区:一般固废仓库参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)的相关要求设计;原料、成品仓库设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥1.5m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能; 简单防渗区:除了重点及一般防护区外的区域,主要包括办公、厂区道路等,对于基本上不产生污染的非污染防治区,不采取专门针对地下水污染的防治措施。 (1)重点防渗区:自建污水站设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥6.0m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能,且放置地面采取厚度大于250mm的混凝土浇筑及2mm厚的环氧树脂材料做相应的防腐防渗处理,危废仓库和化学品仓库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的相关要求设计; (2)一般防渗区:一般固废仓库参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)的相关要求设计;原料、成品仓库设置防渗性能不应低于等效黏土防渗层Mb≥1.5m,K≤1×10-7cm/s的防渗性能; 简单防渗区:除了重点及一般防护区外的区域,主要包括办公、厂区道路等,对于基本上不产生污染的非污染防治区,不采取专门针对地下水污染的防治措施。
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 项目产生的一般工业固体废物执行《固体废物鉴别标准通则》(GB34330-2017)和《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020);危险废物鉴别执行《危险废物鉴别标准通则》(GB5085.7-2007)、《危险废物鉴别技术规范》(HJ298-2019)和《国家危险废物名录》,危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)相关内容。 危险废物(废吸附反应剂、废活性炭、废过滤棉、废试剂瓶、废无尘布、污水处理污泥、废矿物油)危废间暂存,定期委托****处置;一般固废中废分子筛、钯膜管、废石墨基座、废树脂等产生后委托有主体技术和资格的单位处置,不合格品交由衬底外售厂家回收进行反抛后再外售,废劳保用品与生活垃圾一同交由环卫清运。
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 配套建设1个281.6m3事故应急池 拟建设650m3应急事故池(容积增大),现阶段采用应急水袋过渡。
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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环保搬迁
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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区域削减
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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功能置换
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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其他
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准: 地下水是否达到验收执行标准: 环境空气是否达到验收执行标准: 土壤是否达到验收执行标准: 海水是否达到验收执行标准: 敏感点噪声是否达到验收执行标准:
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定,请核实该项目是否存在下列情形:
1 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展,属于前期项目。
2.根据该项目的描述,可依据自身条件进行选择和跟进,避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设,也可继续跟踪,项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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