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电子科技大学 - 竞价公告（CB106142025000061）

公告-招标公告

四川 -成都

发布时间： 2025年06月25日

摘要信息

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电子科技大学公告

招标详情

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2025-06-25 09:17:30 截止时间：2025-06-28 09:27:16标书代写

申购主题： SG202****425001高真空燕发镀膜系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：合同签订后预付 30%，发货前付60% ，设备验收合格后付10%

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后30天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 390000.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

SG202****425001高真空燕发镀膜系统

1.0/

390000.0

普迪真空

PD-450S

1.真空腔室：真空专用304不锈钢腔室镜面抛光处理 ★2.真空系统采用分子泵+机械泵，高真空气动插板阀，真空测量：一个“二低一高”真空计(量程从大气到3E-9torr); 3.真空极限：极限真空≤5×10-5Pa;漏率：优于5×10-8Pa*L/S(国家标准); 保压测试关机12小时后，真空度≤5Pa; 4.抽速：抽气时间大气压~5*10-4Pa小于20min; 5.基片台:容纳4片基片，每片对应三种掩膜图案，可在蒸镀时自动切换；样品片台可旋转，0～30转／分可调； 6.金属蒸发源及电源：配备进口日本TDK蒸发电源。3组金属蒸发源，有机束源炉3组，对心角度可调。配备独立挡板，温控仪精确控温电源4套； ★7.成膜不均匀性≤±3%； 8.膜厚仪：2路晶振探头，多源共蒸发，膜厚精度0.01埃，可自动PID调节工具因子； ★9.控制方式：PLC+工控机；可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发，可实现： a.真空单段平滑曲线； b.全图形化、动画界面； c.PLC集成膜厚仪数据； d.多层掩膜版全自动切换； e.高真空低真空可独立控制，自由选择，自动运行； f.漏率自动检测，保养自动提醒。 11.细节设计：抽气口加装过滤网，气路设计避免扬尘，放气阀采用可调流量电磁阀门程序控制开启大小实现放气流量可控。

按行业标准提供服务