高效镀膜设备用靶枪和电源（XF-WSBX-2500262）采购公告

项目名称

高效镀膜设备用靶枪和电源

项目编号

****

公示开始日期

2025-06-25 11:43:07

公示截止日期

2025-07-02 13:00:00

采购单位

****

付款方式

货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

联系人

中标后在我参与的项目中查看

联系电话

中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后90个工作日内

到货时间要求

成交后90个工作日内

预算

￥ 460,000

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址

******实验室108

采购物品

是否允许进口

采购数量

计量单位

所属分类

磁控溅射靶枪

否

5

台

电子工业生产设备

品牌

Kurt Lesker

规格型号

TMK2SFANC

预算

￥ 51,000

技术参数

五支溅射靶枪，靶材尺寸为2英寸圆形靶，厚度为2毫米至6.35毫米，磁吸式安装；磁极露在真空内，可便捷普通磁极和强磁极；靶头具有折弯功能，可调节角度±45°；配有气动紧凑式圆顶溅射源挡板，并且气动挡板执行机构在真空腔体内；靶枪最低工作压强可达0.5mTorr；靶头内部采用全金属密封，满足超高真空应用；电气连接接口为N型连接件-母型。

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

采购物品

是否允许进口

采购数量

计量单位

所属分类

自动电源靶枪切换器

否

1

台

电子工业生产设备

品牌

Kurt Lesker

规格型号

****0431-4

预算

￥ 60,000

技术参数

一套靶枪-电源自动切换器，配置两个输入端口(同时输入直流和射频电源，并且同时输入时互不影响，射频通道带滤波功能)和四个输出端口，每个输出端口可兼容直流电源和射频电源的输出。输入和输出端口均为标准HN型或者UHF接口，带有DB15针通讯控制接口。

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

采购物品

是否允许进口

采购数量

计量单位

所属分类

磁控溅射直流电源

否

1

台

电子工业生产设备

品牌

Kurt Lesker

规格型号

PD500X1

预算

￥ 57,000

技术参数

一台功率500W的直流电源。电源外形高度不超过1.75英寸，最高电压不低于1000V，最大输出电流不低于2A。功率系数> 0.98，打弧检测时间＜100 nsecs，显示精度：满量程的+/- 1%；外形具有标准机柜安装尺寸，19英寸X18.25英寸X1.75英寸。

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

采购物品

是否允许进口

采购数量

计量单位

所属分类

磁控溅射射频电源

否

1

台

电子工业生产设备

品牌

Kurt Lesker

规格型号

RF03A22XX300

预算

￥ 88,000

技术参数

一台功率为300W的RF电源，带有自动匹配器和控制器。射频频率为13.56MHz。射频电源输出功率的精度优于满量程的+/-1%或者读数的+/-3%，电源长时间输出稳定性优于+/-0.5%。输出接头N型，风冷冷却；射频电源为半个19英寸电控柜安装尺寸，带有标准19英寸电控柜安装配件，可以和控制器并排安装到标准电控柜内。外形尺寸Network 5英寸HX9英寸WX15英寸D；Controller外形尺寸3.5英寸HX9.5英寸WX12.8英寸D;Generator外形5.25英寸HX9.5英寸WX18.35英寸D。

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;