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高通量材料沉积系统
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2600000.00
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***********公司企业信息
****2025年09月政府采购意向-高通量材料沉积系统 详细情况
| 高通量材料沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年09月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高通量材料沉积系统 |
| 预算金额： | 260.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
高通量材料沉积系统，1套。采购标的需实现的主要功能和需满足的质量要求：实现片材和棒材表面的高精度薄膜沉积，系统需配备一套阳极层离子束源支持能量可调，配置2-5套磁控溅射阴极， 配置2-4套金属电弧专用阴极模块，并兼容相当于2-5英寸靶材的高效溅射需求，不同模块间支持协同工作。满负荷运行72小时膜厚均匀性偏差≤±5%。服务要求：供货周期合同签订后5个月（含安装调试），提供2年整机质保（含离子源阴极靶材耗材除外），48小时内应急响应服务。
|
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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