开启全网商机
登录/注册
| 1 | 聚焦离子束微区分析仪 | 名称:聚焦离子束微区分析仪 主要功能和目标:聚焦离子束微区分析仪是实现AI for Nanofab and Materials的重要设备,可通过反向分析法对已有器件进行切割、元素分析、纳米级成像、3D重构等获取器件的详细信息,包括材料、结构、尺寸与厚度等,从而获取复杂器件的原始设计。 对该设备有如下要求:1)用于4寸及以上晶圆;2)SEM成像分辨率:不大于1.7nm@1kV、0.9nm@15kV;3)SEM工作电流及电压范围:5pA-10nA,0.35-30kV;4)离子束工作电流及电压范围:1pA-100nA、0.5-30kV;5)含TEM制样台和低温冷台;6)可进行能谱测试,可以为EDS或SIMS,其中SIMS更优;7)可含STEM选件。 采购数量:1套 |
****7000.00 | 2025-07 |