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SOM的12寸线上工艺开发及流片服务
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****2025年8至10月政府采购意向-SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 详细情况
| SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年8至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 |
| 预算金额： | 347.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
C****1300电子、通信与自动控制技术研究服务
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| 采购需求概况 ： |
阶段1：材料1靶材准备及薄膜工艺调试，包括薄膜测试和组分结构；mat char FO样片制备，完成电学测试，包括薄膜组分、形貌、黏附性等，单元擦写时延、阈值窗口、擦写次数等mat char测试数据； 阶段2：材料2靶材准备及薄膜工艺调试，包括薄膜测试和组分结构；mat char FO样片制备，完成电学测试，包括薄膜组分、形貌、黏附性等，单元擦写时延、阈值窗口、擦写次数等mat char测试数据； 阶段3：进行结构工艺调试，包括WL和BL调试，刻蚀形貌/包裹等需进行TEM切片表征，实现20nm特征尺寸的工艺流程； 阶段4：4片FL的12寸晶圆流片；测试并统计数据。
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| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025-06-28
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