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合光光掩模项目

审批

安徽-合肥-合肥

发布时间： 2025年07月01日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0111MA8QBE0E8F	张理想
王飞	******开发区
省市合****示范区

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

合光光掩模项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	**开发区 **开发区
经度:117.011111 纬度: 31.968056	**开发区**分局
	2023-10-07
环建审〔2023〕11076号	****0111MA8QBE0E8F001U
2025-01-03	560000
2000	****
****0111MA8QBE0E8F	沐**公司
****0111MA2T5CH729	紫实**公司
****0111MAD6AC011N	2025-02-04
2025-02-04	2025-07-01
2025-06-03	2025-07-01
	http://www.**.com/news-**936

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

3300片/年光掩模版	3000片/年光掩模版
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

来料检测、曝光工序、烘烤、显影、清洗、干法蚀刻、光刻胶剥离、光刻胶剥离后清洗、光刻胶涂布及烘干、缺陷修补	来料检测、曝光工序、烘烤、显影、清洗、干法蚀刻、光刻胶剥离、光刻胶剥离后清洗、光刻胶涂布及烘干、缺陷修补
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

2023年10月7**环境局对《合光光掩模公司合光光掩模项目环境影响报告表》进行审批，文号：环建审【2023】11076号。本项开发区经济发展局备案(项目代码：)，根据信设计研究院公司编制的该项目环境影响报告表的主要内容和结论意见，在认真落实环评文件提出的各项生态保护、污染治理及风险防范措施，做到污染物达标排放及环境风险处于可接受水平的前提下，依据《生态环境厅关于强化生态环境保障和服务助力稳经济若干措施的通知》(皖环发〔2022〕34号)《省建设项目环评告知承诺制审竣工后，应按规定开展环境保护验收，经验收合格后，项目方可正式投入生产或者使用。依据《排污许可管理条例》《固定污染源排污许可分类管理名录》需办理排污许可证或登记的，项目建成后，须在实际排放污染物或者启动生产设施之前依法取得排污许可证或进行登记，不得无证排污。我局将加强事中事后监管，若发现你单位实际情况与承诺内容不符或环评文件存在弄虚作假等重大质量问题等情况的，将依法撤销行政许可决定，并予以处罚。由此造成的一切法律后果和经济损失，由你单位自行承担。	本项目产生的生产废水主要包括纯水制备系统排水、空调排水、锅炉排水、显影及显影后清洗排水、剥离后清洗废水、修补后清洗废水、喷淋塔排水、冷却塔排水等。生活污水：生活污水经厂区化粪池预处理后，**处理厂集中处理，达标排放。 1）生产废水：项目生产废水由各工序机台产生后，根据各机台废水的性质和成分，直接通过管道输送进入相应的废水处理系统进行处理，生产废水可做到完全收集；项目生活污水亦经过相关的管道收集后，进入生活污水预处理设施进行处理。 ①显影及显影后清洗废水：排放方式为连续排放，排放量为120m3/d。来源：主要来源于显影过程及显影完成后掩模版清洗过程后产生的废水，此废水主要污染物为pH、COD、BOD5、SS、氨氮、总氮。显影液中约92%进入废水。处置措施：处理站（pH调节法）调节pH后，达标排放。 ②剥离后清洗废水：排放形式为连续排放，排放量为100m3/d。来源：主要来源于光刻胶剥离后清洗工序产生的废水，主要污染物为pH、COD、BOD5、SS、氨氮、总氮。剥离液（氨水与显影液）绝大部分进入废液约85%，极少部分进入废水约7%。处置措施：处理站（pH调节法）调节pH后，达标排放。 ③修补后清洗废水：排放形式为连续排放，排放量为140m3/d。来源：修补后清洗废水主要来源于项目产品进入最终包装前的纯水清洗工序，主要污染物为SS。处置措施：经回用水池收集后，回用于废气洗涤喷淋塔及冷却塔。 ④废气洗涤塔排水：连续排放，废水排放量为70m3/d。来源：本项目排放的硫酸雾、氨气等废气经碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废水，主要污染物为pH、氨氮、总氮等。处置措施：处理站（pH调节法）调节pH后，达标排放。 ⑤纯水制备废水：连续排放/间歇排放。本项目纯水站首先通过过滤等方式对自来水原水进行预处理，再用反渗透法（两级RO）先制得初纯水，再使用EDI和紫外线杀菌等方法来制取高纯水。纯水制备过程将产生RO浓缩水、反洗废水、酸碱再生废水。处置措施：项目纯水制备一级RO浓水、酸碱再生废水与反洗废水进入反洗处理站（pH调节法）调节pH后，达标排。二级RO浓水经回用水池收集后，回用于废气碱液喷淋塔及冷却塔。 ⑥MAU空调系统排水：连续排放，废水量为100m3/d。废水水质较为清洁，经回用水池收集后，回用于废气碱液喷淋塔及冷却塔。 ⑦常温冷却水系统冷却塔排水：连续排放，废水排放量为80m3/d。常温冷却水用来冷却冷冻机、空压机系统。常温冷却水系统为开式循环系统，经过冷却塔降温后的冷却水，供给冷冻水机组，回水再流入冷却塔作热交换作下一次循环使用。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，排水中主要成份为自来水中浓缩的盐类。处置措施：处理站（pH调节法）调节pH后。 ⑧锅炉排水：间歇排放，仅全厂启停使用锅炉时会产生少量废水，废水排放量为2.5m3/d。锅炉采取闭式循环，补充RO水，循环一定次数后，需定期排放，废水主要为pH、盐类。废水水质较为清洁，直接由项目总排口排放。1）剥离废气及显影废气剥离废气主要来源于生产工艺过程中的光刻胶剥离及剥离后清洗工序，主要污染物为硫酸雾、氨气等；显影废气主要来自生产过程中的显影工序，主要污染物为氨气。治理措施：项目车间为洁净厂房，项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集进入废气处理系统。项目喷淋塔处理系统采用单级喷淋塔（氢氧化钠）进行处理，项目设置 3 套（两用一备）废气洗涤塔及风机，设置 1 根28.3m 排气筒（DA001）。项目总使用风量为21000m3 /h。喷淋塔处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，药液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液，喷淋塔处理系统经洗涤塔处理达标后排入大气。干法刻蚀废气、修补废气来源：干法刻蚀废气、修补废气主要来自干法刻蚀、修补工序等，尾气中含有氟化物、二氧化硫、氯气、铬及其化合物。治理措施：先排入 POU 源头处理装置（高温等离子体+干式吸附）处理，处理后与剥离废气及显影废气共用排气筒（28.3 米，DA001）排放。2）有机废气来源：有机废气主要来源于光刻工序中的涂胶、有机干燥洗、烘干、曝光后烘烤，主要污染物为非甲烷总烃、异丙醇、丙酮等。治理措施：项目车间为洁净厂房，项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集进入有机废气处理系统。项目设置两级活性炭吸附装置对有机废气进行处理，项目设置2套两级活性炭吸附装置及风机（一用一备），设置1根28.3m排气筒（DA002)。项目总使用风量为4000m3 /h。3）锅炉烟气来源：项目锅炉烟气主要来源于厂区天然气锅炉的燃烧，主要污染物为二氧化硫、氮氧化物、烟粉尘。根据建设单位提供的资料可知，本项目设置 2 台 1050kw 的燃气热水锅炉（一用一备），供厂区空调系统及纯水制备系统等使用。3、噪声本项目实行四班两运转工作制，全年工作 260 天，每天工作 24 小时，年时基数 2080 小时，设备 24 小时运作，厂区噪声源主要为生产设备工作时产生的噪声，通过合理安排布局，生产设备设施选用低噪声设备并均置于生产车间内，生产时关闭门窗，平时加强生产及工人操作的管理和设备维护保养，并通过墙体阻隔、距离衰减。 4、固体废物本项目营运过程产生的固体废物包括生活垃圾、废稀释剂（含光刻胶）、废清洗剂、废剥离液、废化学品容器（学物质等）、废机油、废灯管、废活性炭废离型膜、废包装材料、废离子交换树脂、废活性炭、废修补材料、废空气净化系统过滤滤芯、废石英基板、不合格品。废离型膜、废包装材料以及废空气净化系**回收站回收，废离子交换树脂、废活性炭、废修补材料、废石英基板、不合格品由生产厂商回收。项目危险废物分别交由****公司进行处理，已签订处置协议。本项目在车间内设置一般废物暂存场所，暂存点为水泥地面，能做到防扬散、防流失、防止雨水的冲刷及防渗漏等相关要求，各类一般废物定置分类存放。企业实际在厂区东侧设置一个危废仓库，占地面积约为50m2，用于存放危废。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

①增强风险意识，加强安全管理。建立、健全安全生产责任制，制定完善的安全生产规章制度和操作规程；严格按照相关设计规范和要求落实防护设施，加强安全意识教育，加强监督管理，消除事故隐患；定期对从业人员进行安全教育培训和事故应急培训；加强巡视检查，对存在的环境安全隐患及时进行整改，建立环境安全风险源管理台账；设置禁燃区域，严禁吸烟和带入火种，设置“严禁烟火”和“禁止吸烟”警示牌并标出警戒线；加强对设备的管理和维护，制定可靠的设备检修计划。 ②加强生产过程的管理。生产过程事故风险防范是安全生产的核心，要严格采取措施加以防范，尽可能降低事故概率。企业应制定各种生产安全管理制度，将国家要求和安全技术规程悬挂在岗位醒目位置，规范岗位操作，降低事故发生概率。必须组织专人每天每班多次进行周期性巡回检查，有跑冒滴漏或其他异常现象的应及时检修，必要时按照“生产服从安全”原则停车检修，严禁带病或不正常上岗工作。安装在线验收设备；	合光光掩模**公司废水排口安装的COD在线分析仪BS-2008型编号BS022-D；氨氨在线分析仪:BS-NH3-N型编号BSNH3-N020-D；等比例水质采样器:BS-2000A编号ZHLB410A2065；pH 在线分析仪:BSMQ-20型编号BSMQ-039；超声波明渠流量计:型号WL-1A2编号648:氟离子水质在线分析仪:型号BS-F编号BSF2022003等自动监测设备由省创怡**公司出具的比对检测报告(编号CYHJ05220、CYHJ05220F1、CYHJ05221、CYHJ05222)结果符合国家比对试验考核指标的要求，自动监测设备的通信稳定性、通信协议正确性，数据传输安全性、正确性符合联网技术指标要求。验收组认为**排口安装的自动监测设备，符合验收条件，原则上通过验收。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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0.34	0	0.34	0.34	/
0.322	235.53	0.322	0.322	/
0.427	158.36	0.427	0.427	/
0.03	17.38	0.03	0.03	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

****处理厂接管标准要求、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1标准要求

建设1****处理站，设计处理能力698m3/d，采用“pH调节法”处理工艺。

项目验收监测期间，本项目废水中各污染因子的浓度能够达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三****处理厂接管标准要求，TOC 及 LAS 执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表 1 标准要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	喷淋塔处理系统	非甲烷总烃、二氧化硫、硫酸雾、氯气、氟化物、颗粒物能够满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2的二级标准；氨气能够满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）；锅炉烟气中NOx执行《**市燃气锅炉(设施)低氮改造工作方案》（合达办〔2019〕13号文）中“30mg/m3”要求，SO2及烟尘能执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）特别排放限值	项目车间为洁净厂房，项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集进入废气处理系统。项目喷淋塔处理系统采用单级喷淋塔（氢氧化钠）进行处理，项目设置 3 套（两用一备）废气洗涤塔及风机，设置 1 根28.3m 排气筒（DA001）。项目总使用风量为21000m3 /h。	项目验收监测期间，DA001废气中污染因子颗粒物、氨等有组织排放能够达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2 的二级标准；氨气有组织排放浓度能够达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准值。 DA002废气中污染因子非甲烷总烃、异丙醇、丙酮有组织排放能够达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2 的二级标准。 DA003废气中污染因子颗粒物、SO2、NOX等有组织排放能够达到《**市燃气锅炉(设施)低氮改造工作方案》（合达办(2019) 13 号文）中“30mg/m3”要求，SO2 及烟尘执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）中特别排放限值。
2	锅炉烟气排风系统	锅炉烟气中NOx执行《**市燃气锅炉(设施)低氮改造工作方案》（合达办〔2019〕13号文）中“30mg/m3”要求，SO2及烟尘能执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）特别排放限值	锅炉采用低氮燃烧装置，设置28.3m排气筒1根。	锅炉烟气中各污染物能达标排放
3	有机废气处理系统	非甲烷总烃《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2的二级标准	设置2套（1用1备），设计总风量4000m3/h，采用“两级活性炭吸附装置”进行处理，设置28.3m排气筒1根。	DA002废气中污染因子非甲烷总烃、异丙醇、丙酮有组织排放能够达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2 的二级标准。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

基础减震

厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准

选用噪声低、震动小的设备；对风机等高噪声设备加设减振垫；合理布置设备位置；车间安装隔声门窗，生产时关闭门窗；加强生产现场管理和设备养护

项目厂界昼夜间噪声排放能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般固废出售给废旧物资回收单位（采用库房、包装工具（罐、桶、包装袋等）贮存一般工业固体废物过程的污染控制，其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求）危险废物委托相关资质单位进行处置符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB 18597—2023）的相关要求。此外，对危险废物的转移处理须严格按照《危险废物转移管理办法》（生态环境部、**部、交通运输部令第23号）执行

本项目在车间内设置一般废物暂存场所，暂存点为水泥地面，能做到防扬散、防流失、防止雨水的冲刷及防渗漏等相关要求，各类一般废物定置分类存放。企业实际在厂区东侧设置一个危废仓库，占地面积约为50m2，用于存放危废。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程