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超高分辨场发射扫描电子显微镜KYKY-EM8系列
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400-688-2000
超高分辨场发射扫描电子显微镜KYKY-EM8系列
核心参数
电子枪：Schottky 肖特基场发射电子枪
光学放大：1x-600000x 光学放大1x-100x
分辨率：SE 1.5nm@15kVBSE 3nm@30kV
产品介绍
一、产品简介
EM80系列场发射扫描电镜定位为经济型肖特基热场发射扫描电镜，拓展性丰富，性价比高，广泛应用于材料科学、生物学、医学、化学、环境科学等多个领域。
二、产品特点
l肖特基场发射电子枪
l多级高性能透镜系统
l束流稳定性高
l可定制超大样品仓
l操作简便
l拓展性丰富性价比高
三、技术参数
四、产品功能
1、二次电子探测器
高信噪比，高带宽 ﹒ 大景深，表征样品表面形貌结构
2、不同探测器同时成像
﹒ 显示SE，BSE 双通道图像
﹒ 可任意设置不同探
﹒ BSE探测器，反应样品表面的成分特征
3、阴极荧光成像
4 大图拼接
﹒ 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预
﹒ 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图
5 粒度分析
采用深度学习的复合图像处理算法，自动识别比例尺，精准识别图像中的颗粒，多种形态参数的统计与导出，
掺铝碳酸钴
多种形态参数结
多种形态数据输出
6 关键尺寸测量
具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能
附件五、定制能力
1、电子束曝光（EBL）
l功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。
l参数：*小束斑 优于5nm; 探针电流 1pA~20nA; 线宽 优于15nm
l应用场景
科研教学、微电子制造、原型器件开发、纳米材料制备、生物医疗研究
l应用案例
二维周期阵列结构加工
50nm线宽/周期200nm光栅结构
60nm直径点阵周期结构
声表面波碳纳米管谐振器耦合器件
场效应晶体管电极
2、真空互联
真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。
真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测.
自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。
3、激光联用-超快电镜
l功能：
超快电镜利用激光、电场等外界刺激使样品达到激发态。使用时间延迟可调的另一束激光作用于电镜灯丝，产生脉冲电子束照射于样品表面进而收集表面逸出的二次电子对激发瞬态进行表征。
l扫描电镜电子枪及发射阴极改造
改造后的电子枪
（1）激光入口 ；
（2）探测激光引入示意图，与电子束方向呈一定角度夹角;
（3）从激光入射口可见阴极工作时的发射状态。
l应用领域
超快结构动力学，新型光场隐含物态调控、自由电子量子光学等。
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工商信息
企业名称
****企业类型
信用代码
911********617934K法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
联系我们
****
客服电话
010-****8169 155****7713
****（简称中科科仪），****学院科学仪器厂，始建于1958年，****事业单位整体转改制企业。历经六十余年的发展，专注于电子光学和真空技术领域，承担了多个国家重要科研攻关项目。公司业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器设备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备，产品广泛应用于科学研究、航空航天、半导体、汽车工业、新能源、新材料、节能环保等前沿科学研究和高端装备制造领域。中科科仪秉承“创新科学仪器，发展一流企业”使命，
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2025-07-02
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