某项目XX定制加工 8套

一、需求内容：
（一）需求描述
Chuck-主体组件为项目运动台中较为关键零部件，其定制加工****研发中心组织的技术评审，经过近年来的调研及供应商开发，现国内已有多家供应商具备此项任务的承接能力，总体技术风险可控。尺寸：58*344*403，材料：微晶
（二）技术参数
1.精度指标：Chuck组件所有零件的尺寸、形位公差、粗糙度、镀层、气路密封等要求，详见图纸。零件交付时，除提供加工过程检验和最终检验结果之外，还需要提供详细的检验原始数据，例如，三坐标打点数据、干涉仪成像图、轮廓仪成像图，光胶面粗糙度，光洁度等。
2.光胶面指标：Chuck-主体，XY光栅尺定位，Y光栅尺定位，3种零件光胶面满足图纸标注的平面度、局部平面度、粗糙度的同时，还需要满足光洁度要求： MIL-PRF-13830B:40/2。
3.边缘缺陷要求：要求Chuck-主体长边区域的镀层和局部面型缺陷距离Chuck最外侧边缘≤1mm，短边缺陷边缘≤2mm。需要提供镀层的厚度、方块电阻和镀层划痕检验报告；吸附凸点1/吸附凸点2，首先保证在零件的上表面凸点区域均匀镀TiN，四周边框可以不镀，S区域不镀。详细要求参见零件图纸。
4.通用质量要求
1） 材料 进口微晶玻璃，推荐肖特
2 ）材料物理参数 密度2.53g/cm3，杨氏模量E=90.3GPa，线性膨胀系数≤0.02×10E-6/K，泊松比0.243
3） 零件外观 零件加工面光滑、洁净，无污垢，无磕碰或瑕疵等；零件一般崩边≤0.05mm；镀膜膜层无起皮、裂纹、脱膜和灰雾，无水渍和擦痕等。
4） 镀层寿命 ＞7年，镀膜膜层无起皮、裂纹、脱膜、灰雾等现象。
（三）验收标准
1.尺寸检验量具及方法
平面度/平行度/垂直度/位置度 ≥2μm 三坐标测量仪
平面度 ＜2μm，局部50nm 干涉仪/LUPHOScan测量仪/3D 轮廓仪
粗糙度 Ra0.0005，Ra0.0008 白光干涉仪
厚度较小零件平行度 5μm 干涉仪透射波前/三坐标测量仪
2.基准面D检测
使用专用支撑工装，多点支撑，将粘接后的Chuck-主体竖直摆放，如下图所示。使用设备检测基准面D的面型。正反两次检测基准面D，即C面朝上检测一次，CT面朝上检测一次。两次检验的基准面D的面型变化趋势相同，面型数值相近，且基准面D关键区域的整体面型≤800nm，局部面型≤30nm。非关键区域面型与图纸保持一致。
3.外观要求及检测手段
零件表面清洁，无裂纹、无磕碰、无附着 光学表面检查灯
零件崩边 电子显微镜+目测
镀层划痕，色差 电子显微镜+目测
方块电阻 方块电阻测试仪
镀层厚度 膜厚测试仪
光胶面无磨料残留 电子显微镜
（四）技术及售后服务
1、自双方验收合格之日起，提供1年质量保证服务；
2、在使用中，如果发生问题，需乙方在接到甲方通知后2小时内做出响应。
二、资格要求
需具备一定的技术研发和制造实力；
具备完善的产品测试能力，有必要的检测设备及相关手段；
注册营业执照实缴不能为0；具备ISO9001质量认证体系证书等
三、线下对接联系人：
联系人：魏博文
联系电话：195****8713