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深圳大学 - 竞价公告（CB105902025000579）

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2025年07月03日

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2025-07-03 11:29:20 截止时间：2025-07-10 12:00:00标书代写

申购主题：超高真空冷热交变压力扩散系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：发布竞价结果后60天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 199500.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

超高真空冷热交变压力扩散系统

1.0/

199500.0

鹏程真空

PCYK300

一、系统功能及构成该系统为单室结构，主要由真空室、基片台、加热系统、直流电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等部分组成，可用于金属薄膜高低温交变材料扩散制备。二、系统的主要组成及技术指标扩散室极限真空度：≤6.0 x10-6 Pa (新设备经10小时烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.L/S；(设备经检漏仪检测) 系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到2.0x10-4 Pa；(新设备经15小时烘烤除气后) 系统停泵关机12小时后真空度：≤1Pa；（设备压升低于0.67L/H标准） 1. 真空室 1套真空室为方形上开门结构，350 mm x 350 mm x250 mm，全不锈钢结构可内烘烤到100～150 ℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；气动开门结构；基片安装在下上法兰。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下： 1.1 CF100法兰接口：（接分子泵） 1.2 CF63法兰接口：1个（观察窗口）； 1.2 CF16法兰接口：2个（1路进气管路、放气阀）； 1.4 CF25法兰接口：1个（用**装样品台）； 1.5 CF35法兰接口：5个（接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,冷却水路）； 1.6 CF16法兰接口：2个（备用）。 3、平面样品基片台（厂家：鹏程真空 304不锈钢制造） 1套 3.1 样品尺寸和数量：最大直径100 mm样品1片； 3.2 样品通过进口抗化学反应保护设计，加热温度：室温～1100 °C，控温精度±0.5 ℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，可绝缘密封承受-1000 V高压；采用进口控温表进行控温可编程分段控制。 3.3 原位样品冷却功能设计，通过外置冷媒循环分段降温，可实现样品急速冷却也可实现进口控温表控温下编程分段温度控制。降温温度：1100～-40°C，控温精度±0.5 ℃， 4、加热装置 1套 4.1 加热装置在真空室下法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备进口控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～1100 °C，控温精度±0.5 ℃，连续可调。 4.2、1000 W脉冲直流加热电源2台； 5、制冷装置 1套 5.1 制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，降温温度：1100～-40°C控温精度可达±2℃，多路输出、多路负载，。且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制通讯方式控制。 6、真空加压装置 1套采用模块化设计的EPS伺服压装系统，由伺服电缸、E-Press 工业软件、控制箱、监控仪和线缆模块五部分组成。模块化伺服控制系统，实现力、位移、时间数据实时采集和分析，对装配过程中的力与位移、力与时间进行有效监测；具有压力控制、位移控制、速度控制。 6.1导向系统：四立柱压机框架系统一套（碳钢），带导向横梁；压力传感器，光栅尺。 6.2控制方式可实现位移控制与压力控制双模式 6.3上压力行程：50MM光栅尺显示精度5UM 6.4整个电缸加压台加工保证加工精度，最终安装完成后，下横梁上表面与导向横梁下表面，平面度不大于0.2MM/1000MM，下横梁上表面与导向横梁下表面平行度不大于1MM, ****中心Φ300直径范围内下表面与下横**行度不大于0.3MM, 与之对应的连接件上面平行度与平面度要求加工精度均小于0.2MM, 以此来保证最终上下压头平行不大于1MM. 5.5最大压力2T，最小压力50kg，全量程压力输出控制精度：±1Kg 6、工作气路 3套 6.1、100 SCCM氩、200 SCCM氧、200 SCCM氮质量流量控制器、CF16电动截止阀、管路、接头等：共3路；气体流量控制器准确度：准确度±1.5%F.S，线性±1%F.S，重复精度±0.2%F.S。 6.2、KF16气动充气阀、DN6电动截止阀、管路、接头等：2路（**科本、厚礼博）。 7、抽气机组及阀门、管道 1套 7.1 复合分子泵及变频控制电源：1台（700 L/s）； 7.2 、涡旋干泵： 1台（8 L/s）； 7.3 KF40气动角阀：2台； 7.4 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套； 7.5 CF150电动闸板阀：1台（用于复合分子泵与真空室隔离）； 7.6 KF16气动角阀：2台； 7.7 压差式充气阀：1台； 8、安装机台架组件采用分体设计机架，四周快卸围板表面喷塑处理；四只承载脚轮，可固定，可移动。(尺寸:880 mm x 780 mm x 1800 mm，重量:400 kg) 9、真空测量 1套 9.1 溅射室真空度采用进行测量（ZDF-5227，量程1x105 Pa～1x10 -5 Pa）； 9.2 镀膜采用薄膜规进行测量（CDG025D，13.3Pa 或 10Pa，精度 0.5%） 10.膜厚仪 1套 10.1、MHY485-2CH双通道 V3.4两路水冷探头 10.1检测范围：0～99u9999 ； 10.2膜厚显示分辨率：1； 10.3速度显示分辨率：0.1/s； 10.4监测时间显示范围：1分～99小时； 10.5安装位置：安装在真空室侧壁，探头位置靠近样品，膜厚探头水冷，进出冷却水各1路，探头上安装水流继电器，具有断水报警功能；配置2组水冷探头。 11、系统采用PLC控制方式 1套通态15寸工控一体机触摸屏+PLC 11.1、在实验镀膜模式情况下，可实现一键启动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。 11.2、系统提供计算机实时通讯，显示记录真空度以及加热温度PID调节设定。 11.3、系统提供计算机实时通讯，设定显示直流电源、射频电源功率参数调整，气体流量控制调节，制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储。 11.4、系统提供计算机MFC的工艺气体稳压控制调节。 11.5、计算机设定显示挡板状态，样品转速等 12、提供冷却水循环机：1 P 1台 13、静音气泵：1200 W 1台 14、备品备件： 1套（CF16铜圈2个、CF35铜圈3个、CF200铜圈1个，聚酯 PU 管（Φ6mm） 4m） 15.整体性能要求： 14.1样品片内膜厚不均匀度：≤ ±2%****中心直径75 mm范围内随机取膜厚测试点，不少于5个测试点）； 14.2样品片间膜厚不均匀度：≤ ±2%****中心直径75 mm范围内随机取膜厚测试点，不同批次样品总数不少于5个三、技术服务及质量保证 1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输； 2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书； 3、在甲方现场验收后，3年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费； 4、每年免费提供2次设备巡检，****设备处于完好状态。四、现场安装具备的条件 1、电源220 V、50 Hz，功率大于6.5 kW，波动范围：小于±6％，配置多路接线插座； 2、可靠地线, 对地电阻小于2 Ω； 3、安装场地面积大于2 M2，高度要求高于2.4 M； 4、要求安装场地的标准温度为20 ℃～24 ℃，标准相对湿度为50%～60%； 5、要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间； 6、外排废气管道； 7、注：设备前方、后方需要根据实际留出气源等的操作空间，大约0.5米。五、培训 1、培训时间：3天培训人数：2-3人 2、培训内容及要求：培训内容及要求：了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法。熟练掌握整套系统的操作规程。能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换。对设备能够进行日常的维护和保养。提供终身人员培训：可以为客户培训操作人员，不限人次。六、相关的技术资料 1、设备操作、维护使用说明书（1套） 2、各类外购件使用说明书 3、设备出厂合格检验证明（1套） 4、装箱单（1套）

1.质量保证期：自交货验收完毕之日算起，所有产品质保24个月。投标供应商对提供的物资在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，应当免费提供包修、包换、包退服务，因此导致的损失采购单位有权向中标供应商追偿。超出质保期后，投标供应商应当提供上门维修服务，仅收取成本费。 2.投标供应商须提供全套完整的产品中文技术资料，包括产品说明书、图纸、操作手册、维修指南、电路总框图等。 3.投标供应商应当承诺提供该物资的技术培训、技术支持和维修巡检服务，服务内容包括每一年技术培训不少于2次，并在投标文件中提供相应书面方案。根据项目情况，提供产品建档计划等。 4.维修备件支持、零配件及耗材供应保障时间：5年。 5.主要零配件及耗材价格：提供**统一报价，并提供本项目具体报价表（按**统一报价折扣率换算，且不得超过**统一报价的70%）。 6.保修期外维修收费：免收除零配件及耗材外的一切费用。 7.投标供应商应当承诺，对售后服务需求提供2小时电话响应，48 小时内到达现场实施维修，72小时仍未排除故障、恢复正常运转的，由投标供应商提供同类型备品、备件等。 8.售后服务网点：（厂所人员电话）标书代写