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| 12英寸硅锗外延系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年8月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 12英寸硅锗外延系统 |
| 预算金额: | 990.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
采购该外延系统需能够在12英寸的硅衬底生长高质量生长2-50um硅硼 硅磷掺杂结构外延片;可在纳米尺度上对材料进行精确沉积,精确控制沉积的材料种类、厚度和晶体质量,实现低缺陷密度的外延生长;同时要保障低玷污水平,满足高端半导体器件的制造需求。
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| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: |
无
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本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写