12英寸硅锗外延系统

发布时间: 2025年07月04日
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****2025年8月政府采购意向-12英寸硅锗外延系统 详细情况
12英寸硅锗外延系统
项目所在采购意向: ****2025年8月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 12英寸硅锗外延系统
预算金额: 990.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0300-电子工业生产设备
采购需求概况 :
采购该外延系统需能够在12英寸的硅衬底生长高质量生长2-50um硅硼 硅磷掺杂结构外延片;可在纳米尺度上对材料进行精确沉积,精确控制沉积的材料种类、厚度和晶体质量,实现低缺陷密度的外延生长;同时要保障低玷污水平,满足高端半导体器件的制造需求。
预计采购时间: 2025-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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