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12英寸槽式湿法蚀刻机
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6400000.00
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zycgr210****22025年10月政府采购意向-12英寸槽式湿法蚀刻机 详细情况
| 12英寸槽式湿法蚀刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****22025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1302 |
| 采购项目名称： | 12英寸槽式湿法蚀刻机 |
| 预算金额： | 640.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A032103
|
| 采购需求概况 ： |
主要用于III-V材料刻蚀，以及部分Si，SiN等物质的蚀刻工艺。机台为全自动boat type槽式湿法刻蚀机，要求配置多个花篮用于承接不同材质晶圆，有高温H3PO4， TMAH，III-V蚀刻液等化学品槽，且化学槽模块之间工艺独立，水槽不共用，避免交叉污染。要求良好的清洗效果和金属污染控制，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： |
/
|
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-11-21
2025-10-27
2025-10-24
2025-09-25
2025-09-15
2025-07-04
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