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脉冲激光沉积系统
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***********公司企业信息
****2025年8月政府采购意向-脉冲激光沉积系统 详细情况
| 脉冲激光沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 脉冲激光沉积系统 |
| 预算金额： | 400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0503工艺试验机
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| 采购需求概况 ： |
#34;拟脉冲激光沉积系统1台。 主要规格参数： 1、抽气系统包括进口分子泵(抽速≥650 L/s)和进口涡旋干泵(抽速≥3.1 L/s)，腔体与分子泵之间配有气动闸板阀，本底真空度优于9E-7Pa； 2、靶台：靶材尺寸及数量：φ2英寸×3 个；每个靶材均可实现自转、公转，自转速率≤10 RPM，由电机控制；可在公转方向上摆动扫描，以实现激光对靶材的均匀烧蚀； 3、配备进口RHEED电子枪，电子枪能量最高可达30 KeV，工作气压最高可达0.4 Torr（50 Pa）； 4、配备进口ICP离子源，RF电源功率大于500w，流量计10sccm； 5、质保：自验收合格之日起两年； 6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 #34;
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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