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椭偏仪

湖北 -武汉

发布时间： 2025年07月04日

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****2025年8月政府采购意向-椭偏仪详细情况

椭偏仪
项目所在采购意向：	****2025年8月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	椭偏仪
预算金额：	120.000000万元(人民币)
采购品目：	A****0304光学测试仪器
采购需求概况：	#34;拟购椭偏仪1台。主要技术指标： 1、测量能力：全穆勒矩阵 16 个元素、偏振光谱 Psi/Delta、折射率、厚度、双折射及介电常数等； 2、光谱范围： 210nm-1650nm； 3、膜厚重复性精度： ≦ 0.005nm （100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ）；膜厚测量精度：＜0.5 nm (100nm SiO2/Si)； 4、折射率重复性精度： ≦ 0.0005nm（****@632.8nm,100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ）； 5、激光定焦：采用激光测距仪精准探测最佳焦距，实现样品 Mapping 快速扫描测量，采用 x/y 型 Mapping 扫描台，支持 2/4/6/8 寸样件多点定位自动扫描测量，软件一键生成二维/三维膜厚分布图； 6、质保：自验收合格之日起两年； 7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。 #34;
预计采购时间：	2025-08
备注：