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12英寸后段湿法去胶机
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5600000.00
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zycgr210****22025年10月政府采购意向-12英寸后段湿法去胶机 详细情况
| 12英寸后段湿法去胶机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****22025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1302 |
| 采购项目名称： | 12英寸后段湿法去胶机 |
| 预算金额： | 560.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A032103
|
| 采购需求概况 ： |
用于后段含金属暴露的、光刻胶灰化后的晶圆的有机污染物清洗，同时也用作电极制备lift off工艺中的光刻胶的去除。机台为全自动boat type槽式湿法刻蚀机，要求配有EKC，NMP，IPA/丙酮/乙醇化学槽对应不同去胶工艺。其中Lift off工艺槽要求配备双filter过滤系统，提高金属颗粒的洁净能力。要求良好的清洗效果，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： |
/
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-11-21
2025-10-27
2025-10-24
2025-09-25
2025-09-15
2025-07-04
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