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12英寸单片RCA清洗机
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8500000.00
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zycgr210****22025年10月政府采购意向-12英寸单片RCA清洗机 详细情况
| 12英寸单片RCA清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****22025年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****1302 |
| 采购项目名称： | 12英寸单片RCA清洗机 |
| 预算金额： | 850.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A032103
|
| 采购需求概况 ： |
主要用于含III-V与薄膜铌酸锂材质的晶圆的清洗工艺，以及前道湿法去胶工艺。机台为全自动单片式湿法清洗机，要求配备至少三个独立腔体，每个腔体具备标准RCA工艺（SPM+SC1+SC2+DHF），SPM出口温度大于120℃。每个腔体包含背部清洗工艺，公共传输区域（包括机械手、暂存区、翻转区等）需要做清洗前、清洗后路径分离。要求良好的清洗效果和金属污染控制，有均匀的刻蚀能力以及流量、温度控制能力。
|
| 预计采购时间： | 2025-10 |
| 备注： |
/
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-07-04
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