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三口电子束蒸发源采购结果公告
招标详情
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***********公司企业信息
| 申购单主题： | 三口电子束蒸发源 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 三口电子束蒸发源 | AP-instruments | EBV3TS-C2506 | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | 三口电子束蒸发源一套 电子束蒸发源安装于腔体上，可以前后伸 缩，可以在系统不破真空的情况下拆装蒸发 源。 包含： 1. 标准三口电子束蒸发源一套； 2. 电子束蒸发源电源及线缆一套； 3. 线性位移器一套，安装法兰 DN40CF， 行程 100mm，手动； 4. 变径三通一套， DN40CF 转 DN16CF； 5. VAT CF40 手动插板阀一套； 6. DN16CF 全金属角阀一套； 7. DN63CF 转 DN40CF 转接一套。 电子束能量 0-1500 eV （取决于所用高压电源） 发射电流 200 mA （取决于所用高压电源） 灯丝电流 1.8 - 2.2 A （典型值，最大不超过2.4A） 最高烘烤温度 200℃ 最高支持材料数量 3 蒸发棒直径 1-4mm （其他尺寸需定制） 坩埚容量 0.5cc 束斑直径 12mm 真空部分长度 240 mm 真空部分直径 35 mm 靶材移动距离 25 mm 安装法兰 DN40CF （2.75 “ OD） *换样方式 支持腔体不破空换样（需配有相应套件） 工作气压 超高真空 （典型值2x10-10 mbar） 输入电压 220V/50Hz 输出高压 0-1500V（纹波＜0.3% p-p） 输出高压分辨率 ＜1V 灯丝电压 0-20V 灯丝电压精度* 1mV 灯丝电流 0-5A 灯丝电流精度* 0.1mA *束流监控范围 1nA-1.5mA *控制方式 程序控制，具有自动稳定高压束流和自动稳定生长束流功能 通讯端口 USB 控制器重量 10kg 控制器尺寸 433X135X550MM | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 198500 | 最低价原则 | |||||
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