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半导体设备零部件修理生产线项目（一期一阶段）

审批

四川-成都

发布时间： 2025年07月05日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0124MAE60JLX3B	薛弘宇
赵文澜	******区
市区现代工业**片区港通北二路19号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

半导体设备零部件修理生产线项目（一期一阶段）	****

2021版本:086-金属制品修理；通用设备修理；专用设备修理；铁路、船舶、航空航**运输设备修理；电气设备修理；仪器仪表修理；其他机械和设备修理业	C4330-C4330-专用设备修理
	****区 ****区
经度:103.925556 纬度: 30.802500	****环境局
	2025-03-28
郫环承诺环评审〔2025〕6号	****0124MAE60JLX3B001Z
2025-06-02	2320
156.6	****
****0124MAE60JLX3B	宇尘**公司
915********442871P	****公司,****公司
915******971303U,**0107MA62MW4J80	2025-04-20

2025-06-03	2025-07-03
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=506060LWoi

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目租赁市公司位于市区现代工业片区港通北二路19号已建空置厂房（5F，层高30m）的1F、2F，租赁建筑面积5200m2，建设2条生产线，形成年修理半导体设备零部件20万套的生产能力。其中不含As半导体修理198000件（套）/年，IMPLANT（含As）半导体修理2000件（套）/年。	根据市场情况，我公司计划分两期建设。其中一期建设涉及1F的建设内容（对应产能为不含As半导体修理98000件（套）/年，IMPLANT（含As）半导体修理2000件（套）/年），二期建设涉及2F的建设内容（对应产能为不含As半导体修理100000件（套）/年）。其中一期分两个阶段。一阶段（即本阶段）产能为不含As半导体修理98000件（套）/年，其中废气治理设施、固体废物贮存设施按环评终期规模一次性建成；废水治理设施仅建设1#废水治理设施。本阶段因2#废水处理系统尚未建设，含As半导体修理生产设施不生产，待一期二阶段2#废水处理系统建成后（预计2025年底前）实施。
无变动，项目分期建设分期验收。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

①半导体零配件（不含砷）：主要工艺包括物理清洗、化学清洗、丙酮浸泡、溶剂擦拭、干磨、喷砂、熔射、等离子喷涂。②含As半导体修理：主要工艺包括物理清洗、化学清洗、喷砂、激光。	①半导体零配件（不含砷）：丙酮浸泡、等离子喷涂位于2F，本期暂不建设。②含As半导体修理：除激光清洗机外，其他生产设备已建设，但配套废水处理系统未建设，不生产，本次不验收。其他与环评一致。
无变动，项目分期建设分期验收。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废气。①喷砂废气经密闭收集、干磨废气经局部密闭整体负压抽风、喷涂废气经密闭收集、熔射颗粒物经密闭收集、激光清洗废气经密闭收集后，经1套滤筒除尘器（TA003）处理后经楼顶1根32m高的排气筒（DA003）排放。其中含砷工件喷砂工序在喷砂机设备废气出口增加1级滤筒除尘（4台含砷工件喷砂机，共4套）。②化学清洗废气经密闭负压抽风收集后经碱喷淋（TA001）处理后经楼顶1根32m高的排气筒（DA001）排放。③化学浸泡废气/擦拭废气：浸泡池通过密闭设备进行收集；擦拭工作台采用密闭围挡在局部形成密闭空间负压收集，化学浸泡废气与擦拭废气收集后一起经二级活性炭（TA002）处理后经楼顶1根32m高的排气筒（DA002）排放。 2、废水。①不含砷生产废水经自建1#污水处理设施（处理能力70m3/d，pH调节-化学沉淀-混凝沉淀）处理达标后经厂区废水总排口（DW001**园区污水管网。②含砷废水经自建2#污水处理设施（处理能力10m3/d，pH调节-化学沉淀-混凝沉淀-蒸发-RO）处理后回用，不外排。③生活污水经已建预处理池处理后经厂区废水总排口（DW001**园区污水管网。 3、噪声。合理布置声源，合理安排生产时间；设备基座安装减震器，车间实体墙降噪；加强管理，加强设备的维护。 4、固废。①一般固废：在车间外西北侧设置1间一般固废暂存间（25m2）。②危险废物：在车间内东北侧设置1间危废暂存间（约20m2），在南侧车间外设置1间清洗废液暂存间（约30m2），委托具有相应危险废物处理资质的单位进行处置。	1、废气。①所有喷砂机均增加1级滤筒除尘，其他与环评一致。等离子喷涂机暂未建设，已预留废气收集管线并接入已建成的防爆滤筒除尘器。熔射废气因存在含铝粉尘且为高温，单独建设1台防爆滤筒除尘器，处理后经DA003排放。激光清洗机暂未建设，已预留废气收集管线并接入已建成的滤筒除尘器（TA003）。②化学清洗废气措施与环评一致。③化学浸泡废气/擦拭废气：浸泡池位于2F，暂未建设。其他与环评一致。 2、废水。①不含砷生产废水处理措施与环评一致。②含砷废水处理设施暂未建设，含砷线不生产。③生活污水处理措施与环评一致。 3、噪声。与环评一致。 4、固废。与环评一致。
①加强了喷砂废气治理措施。在建设粉尘废气集中处理设施TA003滤筒除尘基础上，各喷砂设备后方各增加1级滤筒除尘器，经该级滤筒除尘处理后再经TA003处理。一期一阶段滤筒除尘器收集的不含砷粉尘、废滤筒，不属于危险废物，按一般固废收集暂存。 ②熔射含尘废气环评阶段与其他粉尘一同经1套滤筒除尘器（TA003）处理后1根32m高排气筒（DA003）排放。因熔射废气为含铝粉尘且为高温，单独建设1台防爆滤筒除尘器，处理后经DA003排放。该措施从环境保护角度考虑，与环评措施一致，未增加废气排放量。 ③喷淋塔废水原设计由2#废水处理系统（含砷）处理后回用于喷淋塔，执行《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2024）回用水标准，由于项目含砷生产设施配套处理含砷废水的2#废水处理系统尚未建设，含砷生产设施也不生产，喷淋塔废水暂调整为由1#废水处理系统治理后排入市政管网，执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准。喷淋塔废水水量较小，且排入1#废水处理系统为2#废水处理系统建成前的过渡方案，待2#废水处理系统建成后仍按原环评方案执行。未增加废水总排放量。 ④平面布置调整。熔射等设备平面布置位置发生调整，废气收集措施不变，未增加废气排放量。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.74	1.48	0.74	0.74
0.4298	7.4191	0.43	0.43
0.0898	0.6677	0.09	0.09
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.1267	1.5275	0.127	0.127	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	1#废水处理系统	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准	生产废水经自建1#废水处理设施（处理能力70m3/d，pH调节-化学沉淀-混凝沉淀）处理达标后经厂区废水总排口（DW001****园区污水管网。	监测点位：****处理站排口。监测指标：pH、COD、BOD5、氨氮、悬浮物、总磷、总氮、氟化物、石油类、氯化物、总铜。监测频率：监测2天，每天监测4次
2	生活污水预处理池（依托现有）	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准	生活污水经已建预处理池处理后经厂区废水总排口（DW001****园区污水管网。	监测点位：生活污水预处理池排口。监测指标：pH、COD、BOD5、氨氮、悬浮物、总磷、总氮、动植物油。监测频率：监测2天，每天监测4次。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸碱废气处理设施	氟化物、氯化氢、氮氧化物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准限值；氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表2中标准限值	碱喷淋塔（TA001）+32m排气筒（DA001）	监测点位：DA001。监测指标：氟化物，氯化氢，氨、氮氧化物。监测频次：监测2天，每天监测3次
2	有机废气处理设施	《省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB 51/2377-2017）表3中“涉及有机溶剂生产和使用的其它行业”标准限值要求，丙酮、异丙醇符合《省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB51/2377-2017）表4中标准限值要求	二级活性炭（TA002）+32m排气筒DA002	监测点位：DA002。监测指标：有机废气，丙酮，异丙醇。监测频率：监测2天，每天监测3次
3	粉尘处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准	滤筒除尘器（TA003）+32m排气筒（DA003）。喷砂机设备出口增设1级滤筒除尘；熔射废气单独建设1台防爆滤筒除尘器，处理后利用DA003排放。	监测点位：DA003。监测指标：颗粒物。监测频次：监测2天，每天监测3次。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

低噪声设备、基础减震、厂房隔声

监测点位：厂界四周外1m布设4个监测点位。监测指标：厂界噪声。监测频次：监测2天，每天昼间、夜间各监测1次。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

重点防渗区：本项目生产车间、危废暂存间、清洗废液暂存间、污水处理设施拟在现有防渗混凝土基础上铺设2mm厚**度聚乙烯膜或其它人工材料进行防渗处理，生产车间、污水处理设施地面满足等效黏土防渗层Mb≥6m，K≤1×10-7cm/s；危废暂存间、清洗废液暂存间满足渗透系数≤10-10cm/s，同时清洗废液暂存间内设置0.5m高的围堰。一般防渗区：一般固废暂存间已采用防渗混凝土进行硬化处理，满足一般防渗要求，等效黏土防渗层Mb≥1.5m，K≤1×10-7cm/s。简单防渗区：办公区。已采用混凝土硬化，满足要求。

已落实。废水不含重金属收集罐采用地面罐+承台基础，泄漏易于发现，参照《石油化工工程防渗技术规范》（GB/T 50934-2013）表4.0.4为一般防渗区，采取抗渗混凝土基础；1#废水处理设施二层且架空建设，为一般防渗区，二层地面为钢板。调整为一般防渗区。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般固废：在车间外西北侧设置1间一般固废暂存间（25m2）。危险废物：在车间内东北侧设置1间危废暂存间（约20m2），在南侧车间外设置1间清洗废液暂存间（约30m2），委托具有相应危险废物处理资质的单位进行处置。

已落实，与环评一致。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

泄漏风险防范措施：废液收集管线架空设置，可视化。废液暂存区设置围堰：废液暂存区设置0.5m高围堰，容积不少于暂存量。危废暂存间的废机油等液态废物收集容器下方设置托盘。地面防渗：废液暂存区（含围堰侧壁）、危废暂存间在现有防渗混凝土基础上铺设2mm厚**度聚乙烯膜或其它人工材料进行重点防渗处理。废气治理设施风险防范措施：活性炭吸附装置设置压差监控设备，喷淋塔设置喷淋液pH自动监控设备。废水治理设施环境风险防范措施：废水收集暂存罐位于地面一层，采用承台基础，泄漏易于发现；废水收集暂存罐所在区域设置5cm高围堰，围堰内北侧设置泄漏收集槽、所在地面设5‰坡度，泄漏沿废水排入收集槽；废水处理药剂罐（PAC、PAM、碱液等药剂罐）集中设置于地面一层，下方整体设置1个托盘，托盘容积不小于单个药剂罐容积；④废水处理系统位于厂房北侧搭设的钢制二层平台，由废水收集暂存罐泵至位于二层的废水处理系统，泄漏易于发现；废水处理系统位于厂房北侧搭设的钢制二层平台，设置有回流管道，发生故障时，通过重力流将废水处理系统内废水回流至位于一层的废水收集暂存罐。

已落实。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程