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更换电子束曝光机的场发射灯丝和T轴马达（清采比选20251163号）采购公告
招标详情
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***********公司企业信息
| 更换电子束曝光机的场发射灯丝和T轴马达 | 项目编号**** | |
| 2025-07-06 07:56:41 | 公告截止日期2025-07-09 08:00:00 | |
| **** | 付款方式合同签订后70%，验收合格后30% | |
| 联系电话 | ||
| 到货时间要求 | 签订合同后20个工作日内 | |
| ￥ 207193.00 | ||
| **市**区****蒙民伟科技大楼S102 | ||
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
采购清单index
| 更换电子束曝光机的场发射灯丝 | 1 | 套 |
| Raith |
| 174C |
| ￥ 182000.00 |
| 20kV加速电压时，束斑尺寸可达到1.6nm；10kV加速电压，30μm光阑时，束流不小于220pA，并且室温波动不大于2℃条件下，8小时内束流波动不大于0.5%。为达到上述技术指标，供货商可视情况更换光阑等配件，同时需要保证所有配件能够与Raith 150-TWO的其他部件协调工作。总费用包含配件和一直到灯丝更换完成为止的人工费。 |
| 3个月 |
采购清单index
| 更换电子束曝光机的T轴马达 | 1 | 套 |
| ￥ 25193.00 |
| 马达安装在Raith 150-TWO电子束曝光机上，能与其他部件协调工作，并满足以下条件： 1. 安装马达后，能实现机械臂初始化； 2. 马达可带动机械臂达到曝光机的内部的位置（inner pisition）和外部的位置（outer position）； 3. 机械臂进出时间在20~25秒之间； 4. 供货商可视情况更换样品交换仓传送带等配件； 5. 总费用包含配件和一直到马达更换完成为止的人工费。 |
| 3个月 |
招标进度跟踪
2025-07-09
2025-07-06
招标公告
更换电子束曝光机的场发射灯丝和T轴马达（清采比选20251163号）采购公告
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