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中南大学微纳加工与器件制造平台实验室项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| ****微纳器件制造与加工平台 | 建设单位代码类型：|
| 121********805122D | 建设单位法人：李建成 |
| 阳权龙 | 建设单位所在行政区划：**省**市湘江新区 |
| ********基地A1栋第1层东部局部区域 |
建设项目基本信息
| ****微纳加****实验室项目 | 项目代码：四十五、研究和试验发展 98专业实验室、****基地 |
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **省**市湘江新区 ********基地A1栋第1层东部局部区域 |
| 经度:112.93421 纬度: 28.15086 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2022-10-08 |
| 长环评（**）〔2022〕20号号 | 本工程排污许可证编号：无 |
| 项目实际总投资(万元)： | 4500 |
| 117.5 | 运营单位名称：**** |
| 121********805122D | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| 121********805122D | 验收监测单位：**华中****公司 |
| ****0100MA4L3XCR7U | 竣工时间：2024-10-15 |
| 2024-10-15 | 调试结束时间：2025-01-15 |
| 2025-06-06 | 验收报告公开结束时间：2025-07-04 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.com/gs/detail/2?id=506063lDn6 |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 未变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年实验数量900片 | 实际建设情况：年实验数量900片 |
| 未变动 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 清洗实验-薄膜沉积实验（①溅射②电子束蒸发③CVD化学气相沉积实验）-光刻（涂胶、曝光、显影）-刻蚀-冲洗-去胶-划片-封装、测试 | 实际建设情况：清洗实验-薄膜沉积实验（①溅射②电子束蒸发）-光刻（涂胶、曝光、显影）-刻蚀-冲洗-去胶-划片-封装、测试 |
| “CVD化学气相沉积实验”由于场地限制无法开展，薄膜沉积实验中暂无该工艺 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 不涉重金属实验废水、反冲洗废水、碱液喷淋废水：****处理站（废水收集池+综合废水调节+中和+除氟反应+碳粉吸附+混凝沉淀（4m3/d））处理达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准后排入市政污水管网，****处理厂处理。实验废水中刻蚀后冲洗工序的含重金属冲洗废水经专用管道收集后暂存危废暂存柜，交由有资质单位处置，不得外排。本项目清洗实验工序、光刻(涂胶、显影)实验、去胶实验等工序产生的酸性废气和有机废气需收集排入废气处理设施后高空排放，CVD沉积实验、刻蚀实验等工序产生碱性废气，工艺尾气和氯气需经 Scrubber气体净化设备净化处理后接入废气处理设施后高空排放；溅射实验、电子末蒸发实验等工序产生的颗粒物接入废气处理设施后高空排放。废气处理设施为过滤器+二级碱液喷淋+除雾器+活性炭吸附+高空排放 | 实际建设情况：实验室采用污污分流方式，超纯水制备浓水直接排入雨水管网；实验类废水中的含重金属冲洗废水经专用管道收集后暂存废液暂存桶，定期转运至****危废暂存间内，并由****委托****处置；其余实验废水、超纯水制备反冲洗废水、碱液喷淋废水经管道收集后进入污水处理设施处理（酸碱中和+絮凝沉淀+除氟反应+光催化氧化+过滤+MBR膜+臭氧消毒）日处理能力2m3/d，后排入****污水管网；生活污水依托****化粪池处理后排入****污水管网，由****污水总排口排入市政污水管网，****处理厂处理，达标后外排湘江。硅片清洗实验、光刻（涂胶、显影）实验、去胶实验等工序均在通风橱进行，产生的废气经收集后通过活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001）排放。溅射实验、电子束蒸发实验、刻蚀实验等工序均在设备内进行，设备均为全封闭，其中刻蚀实验废气经Scrubber气体净化设备（燃烧）处理后与溅射实验、电子束蒸发实验废气一同经活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001）高空排放。 |
| 增强并优化了污水处理设施处理工艺，采用MBR膜系统负压抽吸，高效处理污水，并增加了光催化氧化+臭氧消毒工艺。经实际运行统计及水平衡计算，实验室日废水产生量约为1.76m3/d，污水处理设施日处理能力2m3/d可以满足项目废水处理。属优化变动。环评设计废气处理设施为过滤器+二级碱液喷淋+除雾器+活性炭吸附，实际建设废气处理设施为活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001）高空排放。 | 是否属于重大变动：|
其他
| 原辅料：大宗气体（氮气、氧气、氩气）；常用化学品（丙酮、异丙醇、乙醇、双氧水、盐酸、氢氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、氢氧化钠）；化学气相沉积工序（硅烷、氧化亚氮、氨气、氢气）；溅射工序金属靶材；电子束蒸发工序蒸发材料；光刻工序（各类型蚀刻胶、各类型显影液）；刻蚀工序（氦气、四氟化碳、六氟化硫、三氟甲烷、三氯化硼、氯气、切割液、硅片） | 实际建设情况：大宗气体（氮气、氧气、氩气）；常用化学品（丙酮、异丙醇、乙醇、双氧水、盐酸、氢氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、氢氧化钠）；溅射工序金属靶材；电子束蒸发工序蒸发材料；光刻工序（各类型蚀刻胶、各类型显影液）；刻蚀工序（氦气、四氟化碳、六氟化硫、三氟甲烷、三氯化硼、切割液、硅片） |
| 由于场地及原料采购受限，CVD化学气相沉积实验以及以氯气为原料的刻蚀实验暂未开展。 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 污水处理设施；化粪池处理 | 《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4中三级标准；《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1中B级标准 | 实验类废水中的含重金属冲洗废水经专用管道收集后暂存废液暂存桶，定期转运至****危废暂存间内，并由****委托****处置；其余实验废水、超纯水制备反冲洗废水、碱液喷淋废水经管道收集后进入污水处理设施处理（酸碱中和+絮凝沉淀+除氟反应+光催化氧化+过滤+MBR膜+臭氧消毒）后排入****污水管网；生活污水依托****化粪池处理后排入****污水管网，由****污水总排口排入市政污水管网，****处理厂处理，达标后外排湘江 | 验收监测期间，生活污水排放口的pH值、化学需氧量、五日生化需氧量、悬浮物、动植物油检测结果均符合《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4中三级标准，氨氮、总磷、总氮检测结果均符合《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1中B级标准。污水处理站排口的pH值、化学需氧量、五日生化需氧量、悬浮物、氟化物检测结果均符合《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4中三级标准，氨氮检测结果均符合《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1中B级标准。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | Scrubber气体净化设备，活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001） | 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）；《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）；《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019） | 硅片清洗实验、光刻（涂胶、显影）实验、去胶实验等工序均在通风橱进行，产生的废气经收集后通过活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001）排放。溅射实验、电子束蒸发实验、刻蚀实验等工序均在设备内进行，设备均为全封闭，其中刻蚀实验废气经Scrubber气体净化设备（燃烧）处理后与溅射实验、电子束蒸发实验废气一同经活性炭+二级酸碱水雾喷淋塔+除雾器+31m高排气筒（DA001）高空排放。 | 本项目厂界无组织废气“总悬浮颗粒物、非甲烷总烃、氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物”排放浓度符合《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中无组织排放监控浓度限值要求；“臭气浓度、氨、硫化氢”排放浓度符合《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表1二级新扩改建标准限值；厂界内厂区外无组织监控点“非甲烷总烃”排放浓度符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）表A.1无组织排放限值。有组织废气实验废气排气筒中“颗粒物、氟化物、氯化氢、硫酸雾、氮氧化物”排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2二级标准限值要求；“VOCs”排放浓度满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB 12/524-2020) 表1中其他行业排放标准要求；“臭气浓度”排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表2中标准限值要求 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 选用低噪声设备，落实各种测试设备的隔声减振及降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中2类区标准 | 本项目实验所用设备规格小，均为低噪声源，无高噪声设备，产噪设备主要为公辅设备如制氮机、空调机组、空压机、风机、水泵等。本项目采取低噪声设备、隔声、减震、合理布局等措施进行降噪 | 厂界东、南、西、北侧昼间和夜间噪声最大值分别为57dB(A)、48dBA符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 落实固体废物的分类安全处置途径。试验过程中产生的危险废物应严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)交由有资质的单位收集处置。危险废物转移应严格按照《危险废物转移管理办法》对废物来源、种类、数 量、交接时间等进行规范化登记和留档保存。项目运营期产生的生活垃圾应分类收集、及时清运、妥善处置，避免对周边环境产生影响。 | 本项目固体废物主要来源于实验过程中产生的一般固体废物、危险废物和生活垃圾。一般固体废物：纯水制备装置产生的废石英砂、废活性炭及废RO膜，由供应商回收处置。不沾染化学品****学校环卫部门清运。危险废物：****实验室临时贮存，再定期转运至****危废暂存间存放（东南侧约730m）。****委托****进行收运处置。****学校环卫部门清运。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 该项目应制定突发环境事件应急预案并备案，采取适当的环境突发事件处置措施，同时加强员工培训、组织职工定期演练，提高应对环境突发事件的能力和水平，杜绝任何安全、环境事故发生。该项目须明确分管环保负责人和环保专干，加强对环保设施进行定期维护、保养，制定严格的环保管理制度并予以公示。 | 项目于2025年04月08****管理委员****环境局完成突发环境事件应急预案备案，备案号为430104-2025-053-L。实验室对设备设施管理方案、危险化学品管理、危险废物处置、污水处理运营管理等方面进行了较为详细的规定，****小组，安排专人负责相关环保设施。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 依托****现有供电系统，供应由市政电网提供；依托****已有给水设施；依托****已有排水设施；依托****已建化粪池处理本项目实验人员如厕污水；依托****已建危废暂存柜 | 验收阶段落实情况：依托****现有供电系统，供应由市政电网提供；依托****已有给水设施；依托****已有排水设施；；依托****已建化粪池处理本项目实验人员如厕污水；****实验室危废临时中转间贮存（最大储存量为1t），再定期转移至****已建危废暂存柜 |
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环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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