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| ****电子束光刻采购项目 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ****电子束光刻采购项目 |
| 预算金额: | 845.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
拟采购一套电子束光刻用于高精度掩模板制造、光电芯片打样、小批量生产和微纳器件加工。该设备需采用肖特基热场发射电子束源,可实现高分辨电子束曝光和高分辨成像功能。设备公司需在国内有相应技术服务人员负责设备的安装、维修和人员培训,提供1年内的免费维保。
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| 预计采购时间: | 2025-09 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写