厦门兴城联合-公开招标-XC2025-021厦门大学电子科学与技术学院晶圆对准机的更改通知

货物/设备/仪器仪表/教学仪器

PT项： 技术部分评分（满分55分）：

评分因素及细则

满分

1-1

所投设备满足“▲4.1支持晶圆尺寸规格：4、6、8英寸”的得5分；投标人需提供三种尺寸夹具(与 EWG 510键合机夹具一致)的实际运行图各一组（包含对准前上片，对准过程，以及对准后至少3张），否则不得分。

5

1-2

所投设备满足“▲4.2支持晶圆最大厚度≥3.8mm”的得3分；投标人需提供Clamp夹持高度测量图，否则不得分。

3

1-3

所投设备满足“▲4.3对准精度：≤±2μm的得2分；对准精度：≤±1μm的得5分”；投标人需提供对准精度报告，否则不得分。

5

1-4

所投设备满足“▲5.2气浮式被动调平模式，找平后精度＜10μm”的得3分，否则不得分。投标人需提供测试方法和精度报告

3

1-5

所投设备满足“▲5.5 WEC接触压力：5-40N可调并实时监控，自动楔形补偿功能”的得2分，否则不得分。

2

1-6

所投设备满足“▲6.1光学成像系统：“支持并配备RGB可见光（LED）对位方式或支持并配备IR对位方式”的得1分；“同时支持并配备IR和RGB可见光（LED）2种光源对位方式”的得5分；投标人需提供face to face 对准结果（IR对位方式提供）、face to back对准结果（RGB对位方式），否则不得分。

5

1-7

所投设备满足“▲6.3物镜X方向移动最大范围：≤100mm，得1分；≤170mm，得3分”；投标人需提供X轴移动范围测量数据，否则不得分。

3

1-8

所投设备满足“▲6.4物镜Y方向移动范围：≥10mm”的得2分；否则不得分。

2

1-9

所投设备满足“▲6.6物镜放大倍率：包含5倍物镜”的得1分；包含5倍、10倍物镜的得2分”；否则不得分。

2

1-10

所投设备满足“▲6.9具备自动聚焦功能，镜头可自动寻找最优焦平面”的得2分；否则不得分。

2

1-11

所投设备满足“▲6.10半自动运行，手动放片自动对准”的得3分；否则不得分。

3

1-12

所投设备满足“▲6.12具备自动偏移误差补偿功能，设定补偿值后相同recipe可自动进行误差值补偿”的得2分；否则不得分。

2

1-13

所投设备满足“▲6.13对准采用高分辨率CCD相机，具有图形记忆功能”的得3分；否则不得分。

3

1-14

所投设备满足“7.1配置电动控制的X、Y、Z、θ四轴向对准工作台”的3分；否则不得分。

3

1-15

所投设备满足“7.2对准台X/Y轴移动精度≤0.1 μm”的得3分；否则不得分。

3

1-16

所投设备满足“7.4对准台X/Y轴移动范围≥±5 mm”的得3分；否则不得分。

3

1-17

所投设备满足“7.5对准台θ轴移动范围：≥±3°，得1分；≥±5°，得2分”；否则不得分。

2

1-18

所投设备满足“9.配备防震台并具有主动防震功能”的得2分；否则不得分。

2

1-19

所投设备满足“10.1采用计算机控制，Windows操作系统，菜单式，内存≥8GB，硬盘容量≥1TB，有通讯接口”的得2分；否则不得分。

2