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申购单主题:离子溅射仪
申购单位:****
设备1
设备名称:离子溅射仪
品牌:日本日立
型号:MC1000
数量:1.0
报价类型:进口免税价/人民币
售后服务:货期4个月,上门安装调试培训,保修1年。
规格:技术参数 1、磁控二极管放电型电极 2、最大电压0.4kV,最大电流40mA *3、靶材:Pt,Au,Pt-Pd,Au-Pd、碳棒可选 4、喷镀速率:15nm/min (Pt), 5、机械泵:135L/min 6、样品仓大小:≥100mm(内径)x125mm(高) 7、最大样品尺寸:直径≥60mm,高度≥20mm 8、变压器 1个 9、Pt靶材 1块和碳棒1根