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3D探针式轮廓仪
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1200000.00
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***********公司企业信息
****2025年08月政府采购意向-3D探针式轮廓仪 详细情况
| 3D探针式轮廓仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年08月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 3D探针式轮廓仪 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
该设备主要用于半导体显示及微纳制造领域垂直沟道器件侧壁表面粗糙度3D形貌探测评价，垂直沟道器件可提升器件分辨率4倍以上，利用精密探针在样品表面进行接触式扫描，精确采集微观轮廓的三维坐标数据，从而获取表面微观形貌的三维立体图像，清晰展现峰谷结构、纹理走向等并可以精确测量线条宽度、沟槽深度、台阶高度、角度、曲率半径等几何尺寸。依据国际标准计算表面粗糙度参数和波纹度参数。分析体积、面积、截面形状、平面度、平行度等形貌特征。特别适用于测量微小、复杂或高反光/透明样品的表面微观结构，广泛应用于精密机械、半导体、光学、材料科学等领域的研发与质量控制，是提升半导体显示、微纳器件、柔性显示器件高分辨制备关键的检测设备。主要技术要求：台阶高度:纳米级至1000um；扫描范围：100um*100um*15um；微力恒力控制:0.03-50mg；测头底噪声：≤50fm/HZ1/2；圆弧校正:可消除由于探针的弧形运动引起的误差；测试能力：台阶高度、粗糙度、薄膜应力、表面翘曲度，具有二维(2D)和三维(3D)测量功能，侧壁形貌扫描功能等；载台尺寸：可实现200mm*200mm方型载板放置与测量；自动换针模块：四工位磁式自动换针；集成隔音罩、气浮隔震样品载台等。2年质保，供货期8个月。
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-07-17
招标预告
3D探针式轮廓仪
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