微纳尺度加工及测量设备

发布时间: 2025年07月17日
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****2025年08月政府采购意向-微纳尺度加工及测量设备 详细情况
微纳尺度加工及测量设备
项目所在采购意向: ****2025年08月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 微纳尺度加工及测量设备
预算金额: 800.000000万元(人民币)
采购品目:
采购需求概况 :
微纳尺度加工及测量设备主要功能是实现微米级芯片界面的切割,并通过电子扫描显微镜观察分析。可通过高能离子束对样品进行纳米级精度的刻蚀、沉积导电/绝缘材料,以及制备超薄样品切片。利用电子束对样品表面进行高分辨率成像和成分分析。其核心优势在于原位加工与成像:可实时用SEM观察FIB加工过程,并逐层切割、成像,自动重构样品内部的三维结构。主要应用于材料科学、半导体芯片等领域。主要技术指标:SEM分辨率:0.8nm@15kV;1.5nm @1kV;FIB分辨率:5nm@30kV。2年质保,供货期8个月
预计采购时间: 2025-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2025-07-17
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