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| 步进式光刻机(****) | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年08月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 步进式光刻机(****) |
| 预算金额: | 3200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
****设备为步进式光刻机,核心功能用来实现晶圆线路图形化光刻,将掩膜版上设计的超精细电路图形,通过高精度投影光学系统,利用I线光源,分步重复曝光的方式,精确地转移到涂有光刻胶的硅晶圆表面。这一过程实现了芯片上微米级电路图案的定义,其极高的分辨率和套刻精度是制造先进制程芯片的关键。主要技术指标:晶圆尺寸:8inch;视场:33mm*53.5mm;分辨率:0.5 μm;照度:≥1200mW/cm2;照度均匀性:≤3%;计量精度:≤2%;套刻精度:≤0.35μm。2年质保,供货期8个月。
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| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写