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光刻机物镜离子束抛光装备
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***********公司企业信息
****2025年08月政府采购意向-光刻机物镜离子束抛光装备 详细情况
| 光刻机物镜离子束抛光装备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年08月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 光刻机物镜离子束抛光装备 |
| 预算金额： | 330.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
拟采购设备要求的技术参数∕指标： 加工能力：最大尺寸:Ф300mm;角度:±30 加工精度：可实现面形RMS<1nm超高精度加工 加工类型：平面、球面、非球面、自由曲面及图像刻蚀 加工材料：金属、石英、微晶、单晶硅、蓝宝石、碳化硅等 布局：立式三轴T型布局 X/Y/Z三轴有效行程360mm*360mm*360mm 离子源：IOT离子源 设备体积：2.5米*2.5米*1.8米 工作真空度：5e-3~1e-2左右， 抽取速度：30min以内 主真空尺寸：880mm*890mm*1006mm 副腔体尺寸：880mm*730mm*420mm 光斑直径：1mm~38mm可选 喷出口距离抛光表面距离：5mm~30mm之间，视光斑直径而定。
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-11-24
2025-11-06
2025-10-29
2025-07-17
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