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光刻机、台阶仪设备采购结果公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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中标信息
| 成交供应商： | **** |
| 选择理由： | 总价最低，推荐成交 |
| 质疑投诉说明： | 如有质疑，请在三个工作日内将质疑说明文件（纸质****管理处，逾期不予受理。 |
| 项目名称 | 光刻机、台阶仪设备采购 | 项目编号 | **** |
| 公告发布日期 | 2025/07/10 15:17 | 报价截止时间 | 2025/07/15 15:17 |
| 采购单位 | **** | 付款条款 | 合同签订后，甲方向乙方预付合同金额的40%，设备交付到现场，安装、调试验收合格，乙方出具增值税专用发票后，甲方向乙方一次性支付全部尾款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 采购预算 | ￥295,000.00 | 成交金额 | ￥280,000.00 |
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后60天内完成设备交付安装培训。 | ||
| 送货/施工/服务地址 | ****学院路3号**** | ||
采购清单
1
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求响应 | 分项报价 | |
| 光刻机 | 否 | 套 | 1 | （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | ￥100,000.00 | |
| 参考品牌及型号 | ****学院****研究所（URE-2000S） 飞诚（FC-GK-22） 博锐（BEM-YL3000） | |||||
| 技术参数要求 | 一、技术参数要求 1、光源类型： LED 光源； 2、曝光面积：160 mm×160 mm； 3、曝光波长：365 nm：0-30 mW/cm2数字连续可调； 4、分辨力：1 μm； 5、对准精度：±1.2 μm（单面），±2μm（双面，片厚≤0.8mm）； 6、掩模尺寸： 7 英寸，向下兼容 7、样片尺寸：150 mm×150 mm，厚度可适应 0.1mm--2mm（其他厚度可定制），向下兼容； 8、曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s-999.9s 任意设定）； 9、调平接触压力通过传感器保证重复； 10、数字设定对准间隙和曝光间隙； 11、正面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 40mm-140mm； 12、底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 20mm-140mm； 13、具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能； 14、照明不均匀性：±2%（Ф100 mm 范围），±3%（Ф150 mm 范围）； 15、掩模相对于样片运动行程： X：优于±5mm; Y：优于±5mm; θ：优于±6°； 16、光源平行性：≤2.5°。 二、配置要求 设备要求由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套 设备构成； 1、曝光头系统要求包含： 1.1进口紫外 LED 光源； 1.2 LED 光源整形模块； 1.3 XYZ 光源位置调节台； 1.4冷却风扇； 1.5光学系统：（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组、场镜组、反射镜组）； 2、对准工件台要求包含： 2.1掩模样片相对运动台（XY）； 2.2 转动台（θ）； 2.3样片自动调平机构；； 2.4样片调焦机构 2.5承片台 1 个 （150mm×150mm）； 2.6掩模架 1 个 （7 英寸）； 2.7掩模翻转及旋转机构；； 2.8XYZ 底面对准工件台（两套）； 3、双目双视场对准显微镜包括：光源、电源； CCD 4 只；成像光学系统；22 英寸液晶显示器；采集卡；三维运动台； 4、底面对准系统包括：光源、电源；成像光学系统；数据采集卡 ；CCD。 5、电控系统包括：控制系统、控制柜桌、计算机系统； 6、气动系统包括：气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等；电磁阀驱动；气动仪表； 7、其它附件包括：真空泵一台（无油泵）；空压机一台（静音泵）；管道。 | |||||
采购清单
2
| 采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务及其他要求响应 | 分项报价 | |
| 台阶仪 | 否 | 台 | 1 | （1）质保期自甲方验收合格之日起免费保修1年。质保期内如果出现非人为因素的质量问题，免费予以维护。（2）服务响应时间：提供 7x24 技术支持，4小时内响应， 48小时内提出具体解决方案， 使设备尽快恢复正常。 | ￥180,000.00 | |
| 参考品牌及型号 | 光莹（GY-10P） 泽攸（JS10B） 镭埃（ZL-VSM） | |||||
| 技术参数要求 | 1、光学系统：≥500万像素彩色摄像机 2、探针传感器：双LVDT传感器； 3、探针加力范围：0.5-50mg； 4、探针选型：探针曲率半径1μm，夹角60°； 5、平台移动范围X/Y ：手动X/Y（150mm×150mm）； 6、移动范围Z： 手动Z，10mm； 7、样品R-θ载物台： 手动，360°连续旋转； 8、单次扫描长度： 55mm； 9、最大样品厚度： ≤10mm； 10、载物台可装载最大尺寸： 170mm； 11、台阶高度重复性： 0.5nm（标准块重复扫描30次）； 12、测量范围： 500um； 13、扫描速度： 5um/s-100um/s； 14、最大扫描采样点数： 200万点； | |||||
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2025-07-17
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