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热氧化-扩散炉
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1500000.00
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***********公司企业信息
****2025年7至8月政府采购意向-热氧化-扩散炉 详细情况
| 热氧化-扩散炉 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年7至8月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 热氧化-扩散炉 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
拟采购全自动晶圆掺杂设备热氧化-扩散炉 1套。 主要技术指标：设备主体：四管系统，全自动悬臂推拉舟型；工艺管：满足8寸晶圆，兼容2~6寸；满足工艺：磷掺杂，硼掺杂，氧化膜生长，退火工艺（含金属退火）；恒温区控温精度：≤±0.1℃；晶圆尺寸：兼容2~8寸；最高使用温度：≥1260℃ ；控制系统: PLC+工控机，每管独立控制；质保：自验收合格之日起三年；售后：所有硬件三年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。
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| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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